Hi Leo -<br><br>We have older Air Products GG450 cabs (circa 1993), running DCS, SiH4 and 15% PH3/balance SiH4. We have the safe safety infrastructure in place as you do, plus global SiH4 detection. We leave the bottles open at the bottle valves all the time, but the cabinets are safed. We usually perform a line purge prior to a facility shutdown but that's about it.<br>
<br>You certainly can close the bottle valves at the pigtails, but it's really not necessary.<br><br>Regards,<br>Gregg Cure<br><br><div class="gmail_quote">On Wed, Dec 22, 2010 at 1:45 PM, Leonidas E Ocola <span dir="ltr"><<a href="mailto:ocola@anl.gov">ocola@anl.gov</a>></span> wrote:<br>
<blockquote class="gmail_quote" style="margin: 0pt 0pt 0pt 0.8ex; border-left: 1px solid rgb(204, 204, 204); padding-left: 1ex;"><br>
All,<br>
<br>
Can anyone tell me if you shut the valves of the gas bottles in your cleanroom<br>
during winter break ? Our safety guys are under the impression that it is<br>
hazardous to leave them open. They will only listen to me that they are wrong<br>
if other labs leave them as is.<br>
<br>
(We have gas cabinets with gas alarms, shutoff valves, manifolds, etc. They<br>
are hooked up to our RIE tool with 12 sticks for different gases)<br>
<br>
I do not want to shut all the gas bottles for winter break because I believe it is<br>
unnecessary and in some cases could introduce air bubbles into the line<br>
which could affect my RIE recipes if I do not flush the line.<br>
<br>
If you can reply within the next few hours I would appreciate it.<br>
<br>
Thanks<br>
<br>
Leo<br>
<br>
-- <br>
Leonidas E. Ocola, PhD<br>
Nanofabrication Group<br>
<br>
Center for Nanoscale Materials<br>
Argonne National Laboratory<br>
9700 South Cass Ave, Bldg 440, Rm A129<br>
Argonne, IL 60439<br>
<br>
Email: <a href="mailto:ocola@cnm.anl.gov" target="_blank">ocola@cnm.anl.gov</a><br>
Phone: 630-252-6613<br>
Fax :  630-252-5739<br>
Web:   <a href="http://nano.anl.gov" target="_blank">nano.anl.gov</a><br>
<a href="http://nano.anl.gov/docs/people/ocola.pdf" target="_blank">http://nano.anl.gov/docs/people/ocola.pdf</a><br>
<br>
<br>
<br>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br><br>-- <br>Gregg D. Cure`<br>The University of Arizona<br>Arizona Research Laboratories<br>Nano Fabrication and Processing Center<br>1230 E. Speedway Blvd.<br>P.O. Box 210104<br>Tucson, AZ 85721-0104<br>
Office: 520.626.1987<br>Cell: 520.307.2760<br>Fax: 520.626.7877<br>Website: <a href="http://mfc.engr.arizona.edu">http://mfc.engr.arizona.edu</a><br>Website: <a href="http://www.arl.arizona.edu/">http://www.arl.arizona.edu/</a><br>