Hi,<br><br>I am trying to a 3-D Deflection map from a KLA Tencor 2320 the company has been anything but helpful so I will take any insight I can get. I know I need to enter a new orientation angle to do the deflection mapping but the system does not let me enter a new angle. In fact the slot where the angle would be entered is completely missing. Does anyone know if there is a way of "turning on and off" this function and that perhaps that is what has happened? If the software is corrupted? Or simply not working.<br>
<br>Thank you,<br>Francisco Ponce<br>