<!DOCTYPE html PUBLIC "-//W3C//DTD HTML 4.01 Transitional//EN">

<html>

<head>

  <meta content="text/html;charset=ISO-8859-1" http-equiv="Content-Type">

</head>

<body bgcolor="#ffffff" text="#000000">

Apologies, I meant no other responses of any kind!<br>

<br>

:  )<br>

<br>

Mac Hathaway wrote:

<blockquote cite="mid:4E04B80B.1050906@cns.fas.harvard.edu" type="cite">

  <pre wrap="">Hi Keith,

Since I see no other better responses yet, I'll give you my two cents 

(not being a sputtering guru, myself):

Sounds like something is getting hot.  Things to check:

Loose RF connections in the chamber, and back to the tuning network.  

Also, check inside your tuning network for loose connections.

Does your forward/reflected power change over the day? 

Another place to look is your RF power supply.

Mac Hathaway

Harvard CNS

Keith Bradshaw wrote:

  </pre>

  <blockquote type="cite">

    <pre wrap="">We are sputtering TiO2 .

We begin the day with a 250 angstrom rate....each subsequent run is 

reduced by 10-15% in rate until we are at a 125 angstrom rate.  We are 

not changing anything.

Next day we begin again at 250.

Tried argon clean between runs, tried 3 hour wait between runs, we are 

using a load lock and vacuum looks stable , still rate drops on each run.

Any ideas?

cordially,

Keith Bradshaw

Dallas

    </pre>

  </blockquote>

  <pre wrap=""><!---->

_______________________________________________

labnetwork mailing list

<a class="moz-txt-link-abbreviated" href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>

<a class="moz-txt-link-freetext" href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a>

  </pre>

</blockquote>

</body>

</html>