Rick,<br><br>I have seen the range of 40-45% typically specified.  Our room is targeted for 42% +/- 2%.  The most important thing is to keep the humidity stable, so the smaller the % swing the better.<br><br><br>Garry Bordonaro<br>
Photolithographic Engineer<br>Cornell NanoScale Facility<br>Cornell University<br>250 Duffield Hall<br>Ithaca, NY  14853-2700<br><br><br><br><br><div class="gmail_quote">On Tue, Aug 2, 2011 at 11:48 AM, Morrison, Richard H., Jr. <span dir="ltr"><<a href="mailto:rmorrison@draper.com">rmorrison@draper.com</a>></span> wrote:<br>
<blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex;"><div link="blue" vlink="purple" lang="EN-US"><div><p class="MsoNormal">Hi Everyone,<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">
<u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">Draper Laboratory is in the design phase for a new 6,000 sqft cleanroom. We are lucky enough to have a chance to have a Class 10 photolithography area. My question is what are others using for a humidity spec for the photolithography area, we are thinking 45% +-3%. This is based on research done by Dave Carter here at Draper.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">Any thoughts?<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">Rick<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">
<u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">Rick Morrison<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Senior Member Technical  Staff <u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Acting Group Leader Mems Fabrication<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Draper Laboratory<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">555 Technology Square<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Cambridge, MA  02139<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal"><a href="tel:617-258-3420" value="+16172583420" target="_blank">617-258-3420</a><u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p></div></div><br>_______________________________________________<br>

labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br>