<div>Hi Dr. Ferraguto,</div><div> </div><div>The University of Louisville considered the same option when building a new facility several years ago and it met the high standards of our cleanroom consultant Abbie Gregg.  The Hogen system we installed has been used mostly to support or Oxford PECVD.  It has worked out very well for our processing.  We purchased our first H2 generator in the late 90's for a small bench top etcher,  I have never had any regrets for moving away from the infrastructure required to support an H2 gas bottle.   It seems a great option as long as it meets your purity and flow requirements.</div>
<div> </div><div>I would be interested in hearing from others on the network, what limitations they may see for an H2 generator.</div><div> </div><div>Best Regards,</div><div> </div><div> </div><div>Mark Crain</div><div>University of Louisville</div>
<div>502/442-9727<br><br></div><div class="gmail_quote">On Wed, Jul 18, 2012 at 7:53 AM, Ferraguto, Thomas <span dir="ltr"><<a href="mailto:Thomas_Ferraguto@uml.edu" target="_blank">Thomas_Ferraguto@uml.edu</a>></span> wrote:<br>
<blockquote style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;padding-left:1ex;border-left-color:rgb(204,204,204);border-left-width:1px;border-left-style:solid" class="gmail_quote">





<div lang="EN-US" vlink="purple" link="blue">
<div>
<p class="MsoNormal">Colleagues,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">We’re in the process of designing our gas cabinet and abatement layout for our fab.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I just met with the sales representative from Proton and we’re looking at Hogen GC600 (99.9999%) purity hydrogen delivery system (600cc a minute)<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I can’t find any holes in the argument for Hydrogen generation for ~$12k, when a gas cabinet will cost me ~$20K<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Does anyone have any thoughts on this unit or Hydrogen generation in general ? (primarily for PECVD)<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thanks…<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thomas S. Ferraguto<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">ETIC Clean Room Director<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">University of Massachusetts Lowell<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">600 Suffolk Street 456C<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Lowell MA 01854-5120<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="tel:978-934-1809" target="_blank" value="+19789341809">978-934-1809</a> land<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="tel:617-755-0910" target="_blank" value="+16177550910">617-755-0910</a> mobile<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br>