<div>Hi All,</div>
<div> </div>
<div>We are trying to optimise Diborane furnace in a new CVD equipment.</div>
<div> </div>
<div>We have performed few trials(all the souces are gases) at </div>
<div> </div>
<div>Temperature 1000 C </div>
<div>Diborane Flow rate in the range 40 sccm to 100 sccm</div>
<div>Oxygen flow rate 2 SLPM</div>
<div>Nitrogen flow rate is 3 SLPM</div>
<div>Time 30 minutes</div>
<div> </div>
<div>Instead of decrese in resistance we observed that the resistance incresed to around 500 ohm/sq from around 50 ohm/sq</div>
<div> </div>
<div>We apprecite your experience and inputs on how we can resduce the resisitivity with better Diborane diffussion.<br clear="all"><br>-- <br></div>
<div>Thanks & Regards,</div>
<div><strong>Siva Prasad Raju Penmetsa</strong></div>
<div><em>Senior Facility Technologist</em></div>
<div>National Nano Fabrication Center</div>
<div><em>Indian Institute of Science(IISc)</em></div>
<div>Bangalore, India 560 054</div>
<div><a href="mailto:siva@cense.iisc.ernet.in" target="_blank"></a> </div><br>