<div>Hi All,</div>
<div> </div>
<div>We do the process in Horizontal Hot Wall Atmospheric CVD using Single Crystal N Type Silicon wafer<br></div>
<div>The gas used for Boron diffusion is 1% Diborane in Argon </div>
<div>We use Nitrogen as the carrier gas.<br></div>
<div>I sincerely thank you for the inputs from Labnewtwork.</div>
<div> </div>
<div> </div>
<div>
<div>Thanks & Regards,</div>
<div><strong>Siva Prasad Raju Penmetsa</strong></div>
<div><em>Senior Facility Technologist</em></div>
<div>National Nano Fabrication Center</div>
<div><em>Indian Institute of Science(IISc)</em></div>
<div>Bangalore, India 560 054<br></div></div>
<div class="gmail_quote">On Thu, Aug 9, 2012 at 7:44 AM, Siva Penmetsa <span dir="ltr"><<a href="mailto:sivapenmetsapr@gmail.com" target="_blank">sivapenmetsapr@gmail.com</a>></span> wrote:<br>
<blockquote style="BORDER-LEFT:#ccc 1px solid;MARGIN:0px 0px 0px 0.8ex;PADDING-LEFT:1ex" class="gmail_quote">
<div>Hi All,</div>
<div> </div>
<div>We are trying to optimise Diborane furnace in a new CVD equipment.</div>
<div> </div>
<div>We have performed few trials(all the souces are gases) at </div>
<div> </div>
<div>Temperature 1000 C </div>
<div>Diborane Flow rate in the range 40 sccm to 100 sccm</div>
<div>Oxygen flow rate 2 SLPM</div>
<div>Nitrogen flow rate is 3 SLPM</div>
<div>Time 30 minutes</div>
<div> </div>
<div>Instead of decrese in resistance we observed that the resistance incresed to around 500 ohm/sq from around 50 ohm/sq</div>
<div> </div>
<div>We apprecite your experience and inputs on how we can resduce the resisitivity with better Diborane diffussion.<span class="HOEnZb"><font color="#888888"><br clear="all"><br>-- <br></font></span></div><span class="HOEnZb"><font color="#888888">
<div>Thanks & Regards,</div>
<div><strong>Siva Prasad Raju Penmetsa</strong></div>
<div><em>Senior Facility Technologist</em></div>
<div>National Nano Fabrication Center</div>
<div><em>Indian Institute of Science(IISc)</em></div>
<div>Bangalore, India 560 054</div>
<div><a href="mailto:siva@cense.iisc.ernet.in" target="_blank"></a> </div><br></font></span></blockquote></div><br><br clear="all"><br>-- <br>
<div> </div>
<div><a href="mailto:siva@cense.iisc.ernet.in" target="_blank"></a> </div><br>