Hi All,<br><br>We are a UIUC research group currently seeking an ICP RIE able to handle and process <b>156 mm x 156 mm SQUARE</b> (8” round) silicon wafer with <b>180 - 200 µm</b> thickness. The ICP RIE has to have an <b>HBr</b> gas line.<br>
<br>If any of you has this kind of machine in your facility or knows where we can find one, please let us know. Any information will be greatly appreciated.<br><br>Thanks,<br>Yi<br><br clear="all"><br>-- <br>Yi Chen<br>Department of Electrical and Computer Engineering<br>
3231 Micro and Nanotechnology Laboratory<br>University of Illinois at Urbana-Champaign<br>208 North Wright Street, MC-249<br>Urbana, IL 61801-2355 USA<br>Phone: (217) 979-0200