<div dir="ltr"><div><div><div><div><div><div><div>Dear Sir,<br><br></div>We are using toxic gases like silane, phosphine,Diborane, hydrogen, ammonia in our lab.<br><br></div>We have a query whether Nitrogen gas Mass flow controller (MFC) can be used for following gases: 1.Silane<br>
2.Diborane<br>3.Phosphine <br></div><div>4. Ammonia<br></div><div>If we can use, what are the correction factors we need to follow.<br></div><div>Also, whether the above gas MFCs are compatible with each other.<br></div><div>
Is there any safety concern.<br><br></div>Please advice for the same.<br><br></div>Regards,<br>Anjum Ahmed,<br></div>CEN, Eectrical Engg Dept, Annex,<br></div>IIT Bombay,Mumbai, Powai-400076.<br></div>Tel no. 02225764464 / 9920470606<br>
<div><div><div><br><div><br><br><br><div><div><br><div><br><br></div></div></div></div></div></div></div></div>