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<div class="WordSection1">
<p class="MsoNormal"><a name="_MailEndCompose"><span style="color:#1F497D">Hello Shawn,<o:p></o:p></span></a></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">The short answer is yes, you can connect the cabinet exhaust from two gases to the general exhaust. The long answer is as follows:<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">The two gases</span><span style="color:#1F497D"> in the same cabinet</span><span style="color:#1F497D">, as you have noted, isn't correct. 2% silane is right on the edge of being
</span><span style="color:#1F497D">classified </span><span style="color:#1F497D">either
</span><span style="color:#1F497D">as </span><span style="color:#1F497D">a flammable (1.39% to <2%) or a pyrophoric (2% to 30%). Your ammonia is classified as a
</span><span style="color:#1F497D">Toxic/C</span><span style="color:#1F497D">orrosive. It also has
</span><span style="color:#1F497D">Flammable </span><span style="color:#1F497D">characteristics. These can share a general exhaust but should never share a common exhaust from the same cabinet, a
</span><span style="color:#1F497D">common </span><span style="color:#1F497D">panel</span><span style="color:#1F497D">, purge</span><span style="color:#1F497D"> or venturi as the potential for cross contamination is very real here. Whether you choose to classify
 your silane as a pyrophoric or a flammable in this case is up to your safety department. Since 2% is right on the edge, you most likely would not violate the UFC by classifying this as a flammable, but you do need to separate the two cylinders.<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Most companies put the</span><span style="color:#1F497D">ir</span><span style="color:#1F497D"> silane gases in a separate bunker than the other gases. This is how you said you did it at your previous company</span><span style="color:#1F497D">,
 which was correct</span><span style="color:#1F497D">. Having silane separate, </span>
<span style="color:#1F497D">with</span><span style="color:#1F497D"> the </span><span style="color:#1F497D">gas
</span><span style="color:#1F497D">systems complying to CGA Code G-13, would give you the pneumatic cylinder valve, the high flow door (if
</span><span style="color:#1F497D">the cylinder is </span><span style="color:#1F497D">inside a
</span><span style="color:#1F497D">gas </span><span style="color:#1F497D">cabinet), the UVIR, regulator bonnets kits and the restricted flow orifice in the cylinder. We can help size the RFO if you would like.<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">If you need pricing on the cabinets, please let me know.<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Good luck with your project sir.<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Tom Britton<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Director of Sales<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:14.0pt;font-family:"Georgia","serif";color:#1F497D">Critical Systems, Inc.<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">7000 W. Victory Road<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Boise, ID 83709<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Direct: 208-890-1417<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Shop:   877-572-5515<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><a href="http://www.criticalsystemsinc.com/">www.criticalsystemsinc.com</a><span style="color:#1F497D"><o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><i><span style="color:#1F497D">    "World Leader in UHP Reconditioned
<o:p></o:p></span></i></p>
<p class="MsoNormal"><i><span style="color:#1F497D"> Gas Delivery & Abatement Technologies"<o:p></o:p></span></i></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<div>
<div style="border:none;border-top:solid #B5C4DF 1.0pt;padding:3.0pt 0in 0in 0in">
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Tahoma","sans-serif"">From:</span></b><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Tahoma","sans-serif""> labnetwork-bounces@mtl.mit.edu [mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu]
<b>On Behalf Of </b>Shawn Wagoner<br>
<b>Sent:</b> Thursday, June 27, 2013 12:40 PM<br>
<b>To:</b> labnetwork@mtl.mit.edu<br>
<b>Subject:</b> [labnetwork] silane in gas cabinet<o:p></o:p></span></p>
</div>
</div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">Hello,<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">                Here in my lab we have a PECVD system that uses 2%silane in argon.  The cylinder is in a cabinet in the service chase.  The silane shares this cabinet with a bottle of ammonia.  The cabinet is connected to the general exhaust
 that is used throughout the lab.  I don’t really like the setup but this is how the system was running when I was hired and came to the university.  This setup is different from my industrial experience where the silane was outdoors in a bunker.
<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">The lab will be moving to a larger cleanroom space.   While I will not have an outdoor bunker at the new facility, I will take this opportunity to improve the situation.   I intend to purchase a new cabinet for the 2%silane that will allow
 me to use a cylinder with a pneumatic valve, DISS fitting and a dedicated purge cylinder.  This is more in line with my prior experience.    Are there any concerns or issues with connecting the cabinet to the common exhaust?  Again this new lab only has general
 exhaust that runs throughout the entire lab.  <o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">Thanks<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">Shawn Wagoner<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">Shawn Wagoner<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">Director<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">Nanofabrication Laboratory at Binghamton University<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">607-777-6131<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
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