<div dir="ltr">We have a thermal ALD system that has an Alcatel 2063C2 pump with Anderol 555(A155) oil for fluid(no turbo).  We recently cleaned the system and noticed oil in the low points in the chamber. Has anyone else had any experience with this oil?  The vapor pressure for the oil is 10^-3 mBar@100C which is fairly high.  <div>
<br>-- <br>Mike Call <br>Research Engineer<br>UMaine LASST<br>207-581-3382
</div></div>