<div dir="ltr"><div>Thank you everyone for the responses.  The system is an Oxford OpAL thermal ald and the oil(A155) was shipped with it.  I'm not sure why they use(d) it, but the 2063 pump is actually labeled for service with A155 oil.  Can this pump be easily converted to run fomblin?  The Nitrogen pump purge is only turned on during processing  and has heated forelines.   So now that I know more about the oil I'm not surprised it backstreamed too. I was told that all of the new systems are shipped with dry pumps now.<br>
<br></div>Mike<br></div><div class="gmail_extra"><br><br><div class="gmail_quote">On Wed, Oct 23, 2013 at 5:27 PM, Mac Hathaway <span dir="ltr"><<a href="mailto:hathaway@cns.fas.harvard.edu" target="_blank">hathaway@cns.fas.harvard.edu</a>></span> wrote:<br>
<blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">
  
    
  
  <div bgcolor="#FFFFFF" text="#000000">
    Hi Mike,<br>
    <br>
    This is Mac Hathaway at Harvard.  I'm not familiar with that oil,
    but we use Fomblin-type "O2 Service" oil.  What is the make of your
    ALD system?  Does it use a constant N2 or Ar purge?  If not, I can
    easily imagine a fair amount of backstreaming over time.  In our
    Cambridge Nanotech (Ultratech, now) Savannah, we run 20 sccm of N2
    all the time.<br>
    <br>
    Also, if yours is a shared use facility, never discount the
    possibility of strange things being introduced into the chamber by
    "less experienced" users...<br>
    <br>
    <br>
    Mac<div><div class="h5"><br>
    <br>
    <br>
    On 10/23/2013 3:13 PM, Michael Call wrote:
    </div></div><blockquote type="cite"><div><div class="h5">
      
      <div dir="ltr">We have a thermal ALD system that has an Alcatel
        2063C2 pump with Anderol 555(A155) oil for fluid(no turbo).  We
        recently cleaned the system and noticed oil in the low points in
        the chamber. Has anyone else had any experience with this oil? 
        The vapor pressure for the oil is 10^-3 mBar@100C which is
        fairly high. 
        <div>
          <br>
          -- <br>
          Mike Call <br>
          Research Engineer<br>
          UMaine LASST<br>
          <a href="tel:207-581-3382" value="+12075813382" target="_blank">207-581-3382</a>
        </div>
      </div>
      <br>
      <fieldset></fieldset>
      <br>
      </div></div><pre>_______________________________________________
labnetwork mailing list
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a>
</pre>
    </blockquote>
    <br>
  </div>

</blockquote></div><br><br clear="all"><br>-- <br>Mike Call <br>Research Engineer<br>UMaine LASST<br>207-581-3382
</div>