<div dir="ltr">Hello Rick,<div><br></div><div>I recently had to purchase TEOS for my LPCVD system.  We also use it on our PECVD system.  I purchased mine from National Welders.</div><div><br></div><div>Henry</div></div><div class="gmail_extra">
<br><br><div class="gmail_quote">On Mon, Dec 2, 2013 at 9:02 AM, Morrison, Richard H., Jr. <span dir="ltr"><<a href="mailto:rmorrison@draper.com" target="_blank">rmorrison@draper.com</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">






<div lang="EN-US" link="blue" vlink="purple">
<div>
<p class="MsoNormal">Hi Everyone,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I am adding TEOS to my PECVD tool and I am looking for vendor recommendations on TEOS suppliers and the temperature controlled heaters.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thanks in advance for your help.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Rick<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Draper Laboratory<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Group Leader Microfabrication Operations<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">555 Technology Square<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Cambridge Ma, 02139-3563<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="http://www.draper.com" target="_blank">www.draper.com</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="mailto:rmorrison@draper.com" target="_blank">rmorrison@draper.com</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">W <a href="tel:617-258-3420" value="+16172583420" target="_blank">617-258-3420</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">C <a href="tel:508-930-3461" value="+15089303461" target="_blank">508-930-3461</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br></div>