<div dir="ltr">Hello,<div>We have older (circa 1992) Air Products GasGuard GG450 single and dual controller gas cabinets. </div><div>We are using them for SiH4, DCS, PH3 balance SiH4 for various LPCVD processes.</div><div><br></div><div>The Span pressure gauges in the pigtails and VMBs are showing their age and a few of them have failed, or are no longer able to be calibrated. These gauge transducers are either in the own weldments connected to the lines or connected to the lines via VCRs. One gauge is an analog visual unit on the secondary side of the regulator with an integral transducer that sends a signal to the controller.</div><div><br></div><div>It seems that Span is no longer a viable entity. Does anyone know of a 3rd party company that sources replacements for these transducers?</div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>Gregg Cure`</div><div><div><br></div>-- <br>Gregg D. Cure`<br>The University of Arizona<br>Arizona Research Laboratories<br>Nano Fabrication and Processing Center<br>1230 E. Speedway Blvd.<br>P.O. Box 210104<br>Tucson, AZ 85721-0104<br>Office: 520.626.1987<br>Cell: 520.307.2760<br>Fax: 520.626.7877<br>Website: <a href="http://mfc.engr.arizona.edu">http://mfc.engr.arizona.edu</a><br>Website: <a href="http://www.arl.arizona.edu/">http://www.arl.arizona.edu/</a>
</div></div>