<div dir="ltr">Dear All,<div><br></div><div>Please let me know how do you know when you need to replace your metal targets in a sputtering system. In a recent incident, we went little too far may be and the back material [Cu] got sputtered and contaminated the chamber. We have 4" and 2" round targets where a inner ring forms, which is the thinnest.</div><div><br></div><div>If you follow any policy or methodology that would be great to know.<br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr"><div>Thanks,<br></div><div>Kamal Yadav</div><div>Sr. Process Technologist<br></div><div>IITBNF, EE Department, Annexe,</div><div>IIT Bombay, Powai</div><div>Mumbai 400076</div><div>Internal: 4435</div><div>Cell: 7506144798</div><div>Email: <a href="mailto:kamal.yadav@gmail.com" target="_blank">kamal.yadav@gmail.com</a>, <a href="mailto:kamalyadav@ee.iitb.ac.in" target="_blank">kamalyadav@ee.iitb.ac.in</a></div></div>
</div></div>