<html>
  <head>
    <meta content="text/html; charset=ISO-8859-1"
      http-equiv="Content-Type">
  </head>
  <body text="#000000" bgcolor="#FFFFFF">
    <div class="moz-cite-prefix">Milan,<br>
      I would not be concerned with the copper pipes.<br>
      I would use that N2 as a vent gas and more.<br>
      Others will consider this blasphemy.<br>
      I would install an in line H2O / O2 monitor<br>
      and add point of use filters at critical tools.<br>
      <br>
      Our LN is delivered via Cu pipe to SS vaporizer<br>
      then via SS piping to lab. We do not have a separate<br>
      house N2 and process N2. We add small<br>
      point of use purifiers (usually SAES) at those tools with <br>
      critical process requirements. E.g. reactive sputtering of
      nitrides.<br>
      We monitor O2 content real time. Range is 0.6 - 0.9 ppm <br>
      <br>
      Bill Flounders<br>
      UC Berkeley<br>
      <br>
      Milan Begliarbekov wrote:<br>
    </div>
    <blockquote
cite="mid:7EB621C923665D458D0ED5D9E722D7210C3C6070@EXPM5704.enterpriseapps.cuny.adlan"
      type="cite">
      <meta http-equiv="Content-Type" content="text/html;
        charset=ISO-8859-1">
      <style type="text/css" id="owaParaStyle"></style>
      <div style="direction: ltr;font-family: Tahoma;color:
        #000000;font-size: 10pt;">Hi All,
        <div><br>
        </div>
        <div>At the moment we're trying to decide the purity / source of
          the nitrogen we will use to vent our tools. The building has a
          bulk nitrogen system that is plumbed to the clean room in
          copper pipes. Our clean room contractor believes that that
          nitrogen might be too dirty to use as a vent gas and
          recommends ultra pure nitrogen. I am wondering if anyone has
          thoughts on this matter. I believe that it is possible to get
          99.998 % N2 out of copper pipes. Is that the case? If not are
          there purifiers / dryers that are commonly used? This is only
          a vent gas and not a process gas. </div>
        <div><br>
        </div>
        <div>Any wisdom in this matter will be highly appreciated.</div>
        <div><br>
        </div>
        <div>Best,</div>
        <div><br>
        </div>
        <div>milan</div>
        <div>Technical Cleanroom Manager</div>
        <div>CUNY Advanced Science Research Center</div>
        <div><a class="moz-txt-link-abbreviated" href="mailto:Milan.Begliarbekov@asrc.cuny.edu">Milan.Begliarbekov@asrc.cuny.edu</a></div>
      </div>
      <br>
      <fieldset class="mimeAttachmentHeader"></fieldset>
      <br>
      <pre wrap="">_______________________________________________
labnetwork mailing list
<a class="moz-txt-link-abbreviated" href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>
<a class="moz-txt-link-freetext" href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a>
</pre>
    </blockquote>
    <br>
  </body>
</html>