<p dir="ltr">Dear All,</p>
<p dir="ltr">Could anybody answer this query about Ytterbium sputtering at AJA model ATC 2200.</p>
<p dir="ltr">Thanks,<br>
Kamal.<br></p>
<p dir="ltr">><br>
> Do you have any experience sputtering Ytterbium? <br>
><br>
> Since the material is highly electropositive, it requires high<br>
> vac for sputtering in metallic form. <br>
><br>
> So I am assuming it will oxidize quickly to form an <br>
> oxide and the oxide stability is the real question.<br>
><br>
> Do you think Yb sputtering could cause any issues with the <br>
> vacuum levels of the system? Or are there any contamination <br>
> concerns?<br>
><br>
> I am planning to use the system for high temperature deposition (800 degC) <br>
> but using dedicated chucks. The Yb contaminated chuck will <br>
> not be used for high temperature.<br>
><br>
> Below are some melting and boiling point comparisons <br>
> with various oxides. Is this assessment reasonable?<br>
><br>
> Thanks!<br>
><br>
> Udayan<br>
><br>
> Material<br>
><br>
> Boiling point (°F)<br>
><br>
> Melting point (°F)<br>
><br>
> Boiling point (°C)<br>
><br>
> Melting point (°C)<br>
><br>
> Yb2O3<br>
><br>
> 7358<br>
><br>
> 4271<br>
><br>
> 3256<br>
><br>
> 1884<br>
><br>
> TiO2<br>
><br>
> 5,382<br>
><br>
> 3349<br>
><br>
> 2378<br>
><br>
> 1474<br>
><br>
> HfO2<br>
><br>
> 9752<br>
><br>
> 4996<br>
><br>
> 4320<br>
><br>
> 2206<br>
><br>
> Al2O3<br>
><br>
> 5391<br>
><br>
> 3762<br>
><br>
> 2382<br>
><br>
> 1658<br>
><br>
> ZnO<br>
><br>
> 4280<br>
><br>
> 3587<br>
><br>
> 1888<br>
><br>
> 1580<br>
><br>
><br>
><br>
><br>
> -- <br>
> Associate Professor <br>
> Dept of Electrical Engineering, Indian Institute of Technology Bombay<br>
> +91-22-25767698 (o) +91-9920977698 (m)<br>
> <a href="http://www.ee.iitb.ac.in/wiki/faculty/udayan">http://www.ee.iitb.ac.in/wiki/faculty/udayan</a><br>
><br>
><br>
><br>
> -- <br>
> Associate Professor <br>
> Dept of Electrical Engineering, Indian Institute of Technology Bombay<br>
> +91-22-25767698 (o) +91-9920977698 (m)<br>
> <a href="http://www.ee.iitb.ac.in/wiki/faculty/udayan">http://www.ee.iitb.ac.in/wiki/faculty/udayan</a><br>
><br>
><br>
><br>
> -- <br>
> Associate Professor <br>
> Dept of Electrical Engineering, Indian Institute of Technology Bombay<br>
> +91-22-25767698 (o) +91-9920977698 (m)<br>
> <a href="http://www.ee.iitb.ac.in/wiki/faculty/udayan">http://www.ee.iitb.ac.in/wiki/faculty/udayan</a><br>
</p>