<div dir="ltr">Matthieu,<br>     Since we only use silane for growth of silicon oxide and silicon nitride thin films and aren't concerned about keeping an elevated growth rate, we buy our silane mixed down to 2% in nitrogen. EH&S was much more amenable to this approach.<br>     The cylinders are size 80 (~80 ft^3, 2265 ltrs) and in seven years I've ordered 3 of them.<br><br>Regards,<br>John<br><br><br>-- <br>John Nicholson<br>Nanofabrication Laboratories Manager<br>MassNanoTech Nanofabrication Facility<br>Conte Center for Polymer Research, Rm. B111<br>University of Massachusetts Amherst<br>120 Governor's Drive<br>Amherst,MA 01003-9305<br>Phone: 413-545-2772<br>Fax: 413-577-0165<br><br></div><div class="gmail_extra"><br><div class="gmail_quote">On Mon, Dec 22, 2014 at 9:42 AM, Vito Logiudice <span dir="ltr"><<a href="mailto:vito.logiudice@uwaterloo.ca" target="_blank">vito.logiudice@uwaterloo.ca</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">




<div>
<div>Dear Colleagues,</div>
<div><br>
</div>
<div>I would be curious to know your thoughts on the following questions regarding precious metal sputter targets:</div>
<div><br>
</div>
<div>1. Who pays for the initial purchase of the target: end user(s) or fab operations?</div>
<div><br name="BB10">
</div>
<div>2. If the fab owns the target how do you keep track of the amount used per user? </div>
<div><br>
</div>
<div>3. If the user owns the target, is it installed/removed for each run? If it is kept in the chamber, how do you keep non-owners of the target from using it?</div>
<div><span style="font-family:Calibri,'Slate Pro',sans-serif"><br>
</span></div>
<div><span>4. Any suggestions on how to minimize errors/abuses would be appreciated.</span></div>
<div><br>
</div>
<div><span>Thank you</span></div>
<div><span>Vito</span></div>
<div><span><br name="BB10">
</span><span style="font-family:Calibri,sans-serif;font-size:14px;color:rgb(0,0,0)">--</span></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><font color="#000000"><font style="font-size:14px" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif">Vito Logiudice  MASc, </font>P<font face="Calibri,sans-serif">Eng</font></font></font></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><font color="#000000"><font face="Calibri"><font style="font-size:14px" face="Calibri,sans-serif">Director of Operations, Quantum NanoFab</font></font></font></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><font color="#000000"><font face="Calibri"><font style="font-size:14px" face="Calibri,sans-serif">University of Waterloo</font></font></font></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><font color="#000000"><font face="Calibri"><font style="font-size:14px" face="Calibri,sans-serif">Lazaridis QNC 1207</font></font></font></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><font color="#000000"><font face="Calibri"><font style="font-size:14px" face="Calibri,sans-serif">200 University Avenue West</font></font></font></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><font color="#000000"><font face="Calibri"><font style="font-size:14px" face="Calibri,sans-serif">Waterloo, ON           Canada N2L 3G1</font></font></font></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><font color="#000000"><font face="Calibri"><font style="font-size:14px" face="Calibri,sans-serif">Tel.: <a href="tel:%28519%29%20888-4567%20%C2%A0ext.%2038703" value="+15198884567" target="_blank">(519) 888-4567  ext. 38703</a></font></font></font></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><span style="font-size:14px">Email: <a href="mailto:vito.logiudice@uwaterloo.ca" target="_blank">vito.logiudice@uwaterloo.ca</a></span></div>
<div style="color:rgb(0,0,0);font-family:sans-serif"><span style="font-size:14px">Website: </span><a href="https://fab.qnc.uwaterloo.ca" target="_blank">https://fab.qnc.uwaterloo.ca</a></div>
<div><br name="BB10">
</div>
<div></div>
<br>
<br>
</div>

<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br></div>