<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small">Dear Julian<br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small">We have a similar equipment (EBPG5000plusES)  in our Class 100 clean room.  We have a nominal control of 0.25C using Siemens TE controllers. The  variation of the relative humidity of the EBL room is on average 45.19RH% ± 0.27RH%, and the variation of the temperature is on average 21.98 C ± 0.12 C(5-hour trend data). The equipment works fine down to 10 nm resolution. <br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small">Volkan<br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small"><br></div><div class="gmail_extra"><br clear="all"><div><div><div dir="ltr">Volkan Özgüz<br><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small">​Director​</div>Sabancı University<br>Nanotechnology Research and Application Center - SUNUM<br>Orhanlı, Tuzla, İstanbul 34956<br>Office: 90 216 483 9834<br>Fax: 90 216 483 9885<br>Email: <a href="mailto:vozguz@sabanciuniv.edu" target="_blank">vozguz@sabanciuniv.edu</a><br>Web: <a href="http://sunum.sabanciuniv.edu/" target="_blank">http://sunum.sabanciuniv.edu</a><br><br><br><br><br><br></div></div></div>
<br><div class="gmail_quote">On Tue, Jan 6, 2015 at 11:54 PM, Iulian Codreanu <span dir="ltr"><<a href="mailto:codreanu@udel.edu" target="_blank">codreanu@udel.edu</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">Dear Colleagues,<br>
<br>
I need your help to identify the make/model of a temperature probe and transmitter combination to achieve the following specs for the room that will house the e-beam writer (Vistec EBPG 5200):<br>
-Setpoint: 20 C<br>
-Stability: +/-0.25 C<br>
-Rate of change: <0.1 C/hr<br>
<br>
The engineer recommends a 0.04 C accuracy but the controls contractor cannot find such a thing.  They did find a RTD probe with Class 1/10 DIN accuracy from Omega that meets the spec; however, the accuracy of the transmitter that comes with the RTD is only 0.2 C.<br>
<br>
The transmitter must be able to provide an analog output to the BAS.<br>
<br>
Any controls-related words of wisdom would also be much appreciated.<br>
<br>
Thank you very much.<br>
<br>
Iulian<br>
<br>
-- <br>
iulian Codreanu, Ph.D.<br>
Director of Operations, UD NanoFab<br>
163 ISE Lab<br>
221 Academy Street<br>
Newark, DE 19716<br>
<a href="tel:302-831-2784" value="+13028312784" target="_blank">302-831-2784</a><br>
<a href="http://udnf.udel.edu" target="_blank">http://udnf.udel.edu</a><br>
<br>
<br>
______________________________<u></u>_________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/<u></u>mailman/listinfo.cgi/<u></u>labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br></div></div>