<p dir="ltr">Hi, </p>
<p dir="ltr">I was also trying to find the affects of<br>
 expiration of NH3 and Diborane in Hydrogen and silane. </p>
<p dir="ltr">In pure gases it does not matter and you can use after expiration  we have used 6 years post expiration for NH3.  When we changed new cylinder process did not improve... So it does not matter. </p>
<p dir="ltr">In Diborane mixtures or similar I have been told that the ratio is not maintained post expiration.. </p>
<p dir="ltr">Thanks, <br>
Kamal <br>
IITBNF <br>
</p>
<div class="gmail_quote">On Jan 10, 2015 3:45 AM, "Himmer, Phil" <<a href="mailto:PhilH@ee.montana.edu">PhilH@ee.montana.edu</a>> wrote:<br type="attribution"><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div style="word-wrap:break-word"><div>Hello</div><div><br></div><div><br></div><div>Thanks to all for your input about the expired gas. The general consensus is that expiration dates are not relevant for process stability so I’ll continue using what I have. </div><div><br></div><div>regards</div><div>phil</div><div><br></div><div><br></div><div><br></div><div><br><div>
<div style="color:rgb(0,0,0);letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;word-wrap:break-word"><div><div>Dr. Phillip Himmer</div><div>Manager Montana Microfabrication Facility</div><div>Montana State University</div><div>Bozeman Mt 59717</div><div><br></div><div>Office Ph: <a href="tel:406-994-7178" value="+14069947178" target="_blank">406-994-7178</a></div><div>email:<span style="white-space:pre-wrap">   </span><a href="mailto:philh@ece.montana.edu" target="_blank">philh@ece.montana.edu</a></div></div></div><br><br>
</div>
<br><div><div>On Jan 7, 2015, at 2:44 PM, Janney, Peter J. <<a href="mailto:janney.9@osu.edu" target="_blank">janney.9@osu.edu</a>> wrote:</div><br><blockquote type="cite">



<div style="word-wrap:break-word">
<div>It's my understanding that the gas doesn't really expire, it's only the certification on the tank. </div>
<div><br>
</div>
<div><br>
</div>
--
<div>Pete Janney</div>
<br>
<br>
<div>-------- Original message --------</div>
<div>From: "Himmer, Phil" </div>
<div>Date:01/07/2015 2:14 PM (GMT-05:00) </div>
<div>To: <a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a> </div>
<div>Subject: [labnetwork] expired process gas </div>
<div><br>
</div>
<div>Hello,
<div><br>
</div>
<div>Does anyone have any practical experience using Chlorine and Hydrogen Bromide gas past it’s expiration date? We use the gas for ICP etching of chrome and aluminum.</div>
<div>We have small cylinders(air liquide 7-size) of each that still have gas in them but are now years past the expiration date. I have pulled them from the gas cabinet with the plan to replace them but am having difficulty finding a vendor who offers these
 gasses in these small volumes. We are trying to not use lecture bottles due to disposal considerations.</div>
<div><br>
</div>
<div>looking forward to suggestions</div>
<div>phil</div>
<div><br>
</div>
<div><br>
</div>
<div>
<div style="letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;word-wrap:break-word">
<div>
<div>Dr. Phillip Himmer</div>
<div>Manager Montana Microfabrication Facility</div>
<div>Montana State University</div>
<div>Bozeman Mt 59717</div>
<div><br>
</div>
<div>Office Ph: <a href="tel:406-994-7178" value="+14069947178" target="_blank">406-994-7178</a></div>
<div>email:<span style="white-space:pre-wrap"> </span><a href="mailto:philh@ece.montana.edu" target="_blank">philh@ece.montana.edu</a></div>
</div>
</div>
<br>
<br>
</div>
<br>
</div>
</div>

</blockquote></div><br></div></div><br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div>