<div dir="ltr">Dear All,<div><br></div><div>Though may not make much sense, but would wanted to know if there are any successful cleaning procedures for chamber to remove affect of gold usage/contamination in that chamber.</div><div><br></div><div>We want to use the chamber with gold pads exposed to the plasma, but at the same time, need to allow those whose devices may get affected from gold [in CMOS]. Any intermediate cleaning/deposition that could significantly (?) reduce the affect. </div><div><br></div><div>Our chamber [ICPCVD] has been used [5+ years] with gold pads [exposed to plasma] and so far other groups have not reported any issues with their devices, so its working out fine till now.</div><div><br></div><div>But we want to take precautionary measures if any.</div><div><br></div><div>Thanks a lot!</div><div><div><br></div>-- <br><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Thanks,<br></div><div>Kamal Yadav</div><div>Sr. Process Technologist</div><div>Electrical Engineering</div><div>IIT Bombay</div><div>Mobile: 7506144798</div></div></div></div></div></div></div></div>
</div></div>