<div dir="ltr">Dear All,<div><br></div><div>We have furnaces [Atmospheric pressure and LPCVD] from Ultech Inc., Korea.</div><div><br></div><div>We have 4" size substrate size quartz tubes furnaces. After temperature ramp up to desired temperature, oxygen flow starts and we have done upto a minimum time of 5 min, after which oxygen flow stops and nitrogen flows for sometime and furnace gets cooled down to 400/500 before we unload. </div><div><br></div><div>We believe there must be some minimum time the oxygen should be flown to achieve reliable and repeatable oxide thickness as it will take some time for oxygen to stabilize in the furnace.</div><div><br></div><div>As thin oxides are required, we are also considering changing the temperature to 750 Deg C, to achieve minimum thickness. Both temperature and time could be optimized in order to achieve minimum thickness. </div><div><br></div><div>Which, Temperature or time or both, is best to change and how far one can go, is my question to achieve minimum thickness.</div><div><br></div><div>Thanks a lot!<br clear="all"><div><br></div>-- <br><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Thanks,<br></div><div>Kamal Yadav</div><div>Sr. Process Technologist</div><div>Electrical Engineering</div><div>IIT Bombay</div><div>Mobile: 7506144798</div></div></div></div></div></div></div></div>
</div></div>