<div dir="ltr">Dear All,<div><br></div><div>Query regarding RTP: </div><div><br></div><div>1. We have AnnealSys RTP: ASOne<br clear="all"><div>2. We need to clean pyrometer windows regularly to maintain the equality in the actual temperature and set temperature. After around one month, and after heavy usage, the temperature drift around 80 Deg C. Pyrometer measures 80 Deg less than actual [randomply measured by TC]. When we clean the windows this difference is around 2 degrees.</div><div><br></div><div>Queries:</div><div>1. Is cleaning pyrometer windows a standard practice in your systems as well?</div><div>2. Our 30 sec base line recipe, at 900 deg C, excluding ramp and ramp down steps. This recipe does not yield consistent thickness and ranges from 7 to 14 nm thickness. At this thickness other factors such as native oxide thickness variation, ambiance also plays critical role. Any comments would really help.</div><div><br></div><div>Thanks a lot!</div><div><br></div>-- <br><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Thanks,<br></div><div>Kamal Yadav</div><div>Sr. Process Technologist</div><div>Electrical Engineering</div><div>IIT Bombay</div><div>Mobile: 7506144798</div></div></div></div></div></div></div></div>
</div></div>