<div dir="ltr">Kamal Yadav,<div><br></div><div>I held back offering a response to your question about RTP/infrared pyrometry windows because the UC Berkeley NanoLab does not have experience with AnnealSys RTP systems. We operate five AllWin21 Corp RTP's which are improvements of the historic AG Heatpulse designs.</div><div><br></div><div>The IR pyrometry of our systems relies on providing constant temperature cooling for the units IR sensor via a small, remote chiller (we use one unit per two RTP's to save on space). </div><div><br></div><div>Our RTP chambers have windows made of a special grade of hydroxy-free (OH) fused silica. Low-OH fused silica, such as Heraeus "Suprasil" resolves issues with an IR absorption peak at ~2.7u:</div><div><br></div><div><img src="http://www.hellma-analytics.com/assets/adb/c6/c6079e15271dfd2f.jpg" width="408" height="171" style="margin-right: 0px;"><br></div><div> </div><div>These windows are made very thin to minimize IR absorption and therefore fragile. The IR intensity is proportional to temperature of the substrate being viewed. Any occlusion of this optical path, such as deposition on the window surfaces, will result in a lower-than-actual temperature reading.</div><div><br></div><div>We clean the interior of our chambers and these window surfaces with ~5% HF in water. Some mild mechanical force from a cotton swab to the window surface helps speed up the process and reduces etching of the window. Because HF cleaning reduces the thickness of these windows we re-calibrate the system after cleaning. The system software is automated to correlate the IR pyrometer against a reference Type-K TC built as an "instrumented-wafer" (SenseArray). </div><div><br></div><div>Following a calibration run this TC-wafer is removed and we rely on the IR pyrometer for our high temperature runs. For runs at temperatures lower than ~600 C, where the IR signal is nil we use an instrumented off-axis Type-K TC built onto a silicon support structure</div><div><br></div><div>Regards,</div><div>Bob Hamilton </div></div><div class="gmail_extra"><br clear="all"><div><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div><div><div><div><div><br>Robert Hamilton<br></div>University of CA, Berkeley<br>Marvell NanoLab Equipment Manager<br></div>Rm 520 Sutardja Dai Hall, MC 1754<br></div>Berkeley, CA 94720<br></div>Phone 510-809-8618 (desk - preferred)<br></div>Mobile 510-325-7557 (my personal mobile)<br></div>E-mail preferred: <a href="mailto:bob@eecs.berkeley.edu" target="_blank">bob@eecs.berkeley.edu</a><br><a href="http://nanolab.berkeley.edu/" target="_blank">http://nanolab.berkeley.edu/</a></div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr"><br><div><div><div><div><div><div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
<br><div class="gmail_quote">On Tue, Jul 7, 2015 at 12:45 AM, Kamal Yadav <span dir="ltr"><<a href="mailto:kamal.yadav@gmail.com" target="_blank">kamal.yadav@gmail.com</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div dir="ltr">Dear All,<div><br></div><div>Query regarding RTP: </div><div><br></div><div>1. We have AnnealSys RTP: ASOne<br clear="all"><div>2. We need to clean pyrometer windows regularly to maintain the equality in the actual temperature and set temperature. After around one month, and after heavy usage, the temperature drift around 80 Deg C. Pyrometer measures 80 Deg less than actual [randomply measured by TC]. When we clean the windows this difference is around 2 degrees.</div><div><br></div><div>Queries:</div><div>1. Is cleaning pyrometer windows a standard practice in your systems as well?</div><div>2. Our 30 sec base line recipe, at 900 deg C, excluding ramp and ramp down steps. This recipe does not yield consistent thickness and ranges from 7 to 14 nm thickness. At this thickness other factors such as native oxide thickness variation, ambiance also plays critical role. Any comments would really help.</div><div><br></div><div>Thanks a lot!</div><span class="HOEnZb"><font color="#888888"><div><br></div>-- <br><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Thanks,<br></div><div>Kamal Yadav</div><div>Sr. Process Technologist</div><div>Electrical Engineering</div><div>IIT Bombay</div><div>Mobile: 7506144798</div></div></div></div></div></div></div></div>
</font></span></div></div>
<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br></div>