<div dir="ltr"><div><div><div><div><div>Hello all -<br></div>I have an Edwards Auto 306 ebeam deposition system. The tool is high usage and very popular in our lab.<br></div>Edwards recently transferred its ebeam line to HHV, whose operations are mostly in India, although HHV has a UK presence. Parts availability and order delay times are untenable (12 weeks ARO in some cases).<br></div>Does anyone know of a second source for ebeam parts (HV Penning gauge anodes, pirani gauges, leadthroughs, filaments, ceramic insulators, etc). We use Filtech in Boston for film thickness monitor crystals, but have had little success finding a local (US) vendor for other parts.<br><br></div>Thanks in advance for any help you can offer.<br></div>Gregg Cure`<br clear="all"><div><div><div><div><div><div><br>-- <br><div class="gmail_signature">-- <br>Gregg D. Cure`<br>The University of Arizona<br>Arizona Research Laboratories<br>Nano Fabrication and Processing Center<br>1230 E. Speedway Blvd.<br>P.O. Box 210104<br>Tucson, AZ 85721-0104<br>Office: 520.626.1987<br>Cell: 520.307.2760<br>Fax: 520.626.7877<br>Website: <a href="http://mfc.engr.arizona.edu" target="_blank">http://mfc.engr.arizona.edu</a><br>Website: <a href="http://www.arl.arizona.edu/" target="_blank">http://www.arl.arizona.edu/</a></div>
</div></div></div></div></div></div></div>