<div dir="ltr">Bryan Colwill,<div><br></div><div>I suspect you can relax your vacuum spec. At 28" (~50 Torr) you will have 93% of the atmospheric force available for wafer handling. Our facility vacillates between 25" and 28" during the day, based on load. We and have not seen a problem from this swing.</div><div><br></div><div>Note, our housevac is never used for actual process, just wafer handling.<div><br></div><div>The UC Berkeley NanoLab uses a Busch rotary-vane system built for "housevac". It is reliable; however, we did modify the oil recovery tubing (1/8") which collects oil and returns it to the sump, changing it from steel to translucent plastic tubing. This modification makes it easy to see this recovery system is working and not clogged.</div><div><br></div><div>Regards,</div><div>Bob Hamilton</div><div><br></div><div><br></div></div></div><div class="gmail_extra"><br clear="all"><div><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div><div><div><div><div><br>Robert Hamilton<br></div>University of CA, Berkeley<br>Marvell NanoLab Equipment Manager<br></div>Rm 520 Sutardja Dai Hall, MC 1754<br></div>Berkeley, CA 94720<br></div>Phone 510-809-8618 (desk - preferred)<br></div>Mobile 510-325-7557 (my personal mobile)<br></div>E-mail preferred: <a href="mailto:bob@eecs.berkeley.edu" target="_blank">bob@eecs.berkeley.edu</a><br><a href="http://nanolab.berkeley.edu/" target="_blank">http://nanolab.berkeley.edu/</a></div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr"><br><div><div><div><div><div><div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
<br><div class="gmail_quote">On Tue, Aug 11, 2015 at 9:53 PM, Bryant Colwill <span dir="ltr"><<a href="mailto:colwib2@rpi.edu" target="_blank">colwib2@rpi.edu</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">
  

    
  
  <div bgcolor="#FFFFFF" text="#000000">
    Colleagues,<br>
    <br>
    We are in need of repairing/replacing our cleanroom process vacuum
    pumps.<br>
    Currently, we use a water sealed rotary vane system but it has been
    suggested to convert to a oil sealed rotary screw style pump.<br>
    We target an ultimate vacuum of 28mmHg and our volume requirements,
    at point of use, are quite small (a couple spin chucks, end
    effectors, etc.).  Can anyone attest to having a rotary screw pump
    installed for this purpose that has withstood the test of time?  Any
    issues with premature/frequent bearing failure or replacement? 
    Also, does changing from water sealed to oil sealed set off any red
    flags? <br>
    <br>
    Thanks in advance,<br>
    Bryant<span class="HOEnZb"><font color="#888888"><br>
    <br>
    <span><span style="color:#888888">Bryant Colwill </span></span><span style="color:#888888"><br>
      <span>MNCR General Manager</span><br>
      <span>Rensselaer Polytechnic Institute </span><br>
      <span>110 8th Street, CII 6015 </span><br>
      <span>Troy, NY 12180 </span><br>
      <span>Ph: <a href="tel:518-276-3946" value="+15182763946" target="_blank">518-276-3946</a>  </span></span><br>
  </font></span></div>

<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br></div>