<div style="font-family:Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size:12.0pt; color:#1F497D"><div style="font-family:Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size:12.0pt; color:#1F497D"><div>Hello Vito,</div><div>We interlocked our Suss-Microtec MA6 by interupting the mask vacuum sensor.  I prefer this over the mask vacuum solenoid or shutting the tool off.  </div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>Chad</div><div><br></div><div>--</div><div>Chad Eichfeld, PhD</div><div>Facilites Lead, Nanofabritication Lab</div><div>Materials Research Institute</div><div>The Pennsylvania State University</div>
<div>cme133@psu.edu</div>
</div></div><div id="quoted_header" style="clear:both;"><br/><div style="border:none;border-top:solid #E1E1E1 1.0pt;padding:3.0pt 0cm 0cm 0cm"><span style="font-size:11.0pt;font-family:Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif"><b>From:</b> Vito Logiudice <vito.logiudice@uwaterloo.ca><br><b>Sent:</b> Oct 26, 2015 5:53 PM<br><b>To:</b> labnetwork@mtl.mit.edu<br><b>Subject:</b> [labnetwork] Suggestions for interlocking mask aligners<br></span></div></div><br type='attribution'><div id="quoted_body">

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=us-ascii">


<div>Dear Colleagues,</div>
<div><br>
</div>
<div>I would appreciate hearing how you may have interlocked the mask aligners in your respective facilities. In our particular case we have a Suss-Microtec MA6 aligner and we are struggling to identify a parameter that can be interlocked without causing the
 system additional wear and tear. Any insights would be appreciated. Thank you.</div>
<div><br>
</div>
<div>Best regards,</div>
<div>Vito</div>
<div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri" style="font-size: 14px; "><font face="Calibri,sans-serif">--</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri" style="font-size: 14px; "><font face="Calibri,sans-serif">Vito Logiudice  </font>P.<font face="Calibri,sans-serif">Eng.</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Director of Operations, Quantum NanoFab</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">University of Waterloo</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Lazaridis QNC 1207</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">200 University Avenue West</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Waterloo, ON           Canada N2L 3G1</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Tel.: (519) 888-4567  ext. 38703</font></font></font></div>
<div><span style="font-size: 14px; ">Email: <a href="mailto:vito.logiudice@uwaterloo.ca">vito.logiudice@uwaterloo.ca</a></span></div>
<div><span style="font-size: 14px; ">Website: </span><a href="https://fab.qnc.uwaterloo.ca">https://fab.qnc.uwaterloo.ca</a></div>
<div><br>
</div>
</div>


</div>