<div dir="ltr"><div>I am forwarding a query from a colleague to see if someone reading the labnetwork has experience and recommendations about this parylene issue:</div><div><br></div><div><i>Papers show paryleneC becomes crystalline, tensile & cracks when baked above 80C in atmosphere, simple tests on hot plates confirm this finding. Does anyone have experience when paryleneC is exposed to a resist bake after resist is coated on top of the parylene? </i></div><div><i><br></i></div><div><i>If you do have this experience, with a resist coating and bake on a parylene substrate, what was the temperature exposure and ambient?   Did the parylene crack or change properties during the bake?</i></div><div><i><br></i></div><div><i>Or, was the resist bake done in an N2 or Ar or vacuum environment & what was the temperature exposure of the bake?</i></div><div><br></div><div>Regards,</div><div>Bob Hamilton</div><div><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div><div><div><div><div><br>Robert Hamilton<br></div>University of CA, Berkeley<br>Marvell NanoLab Equipment Manager<br></div>Rm 520 Sutardja Dai Hall, MC 1754<br></div>Berkeley, CA 94720<br></div>Phone 510-809-8618 (desk - preferred)<br></div>Mobile 510-325-7557 (my personal mobile)<br></div>E-mail preferred: <a href="mailto:bob@eecs.berkeley.edu" target="_blank">bob@eecs.berkeley.edu</a><br><a href="http://nanolab.berkeley.edu/" target="_blank">http://nanolab.berkeley.edu/</a></div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr"><br><div><div><div><div><div><div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
</div>