<html>
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<div>
<div>Hi Leif,</div>
<div><br>
</div>
<div>Based on some past experience with PDMS I agree with the concerns expressed by your engineers. If PDMS is handled carefully and conscientiously by your end users then possible damage can be contained or at least limited should it come into contact with
 any of your equipment. The problem many of us face in an academic setting however is the vast diversity of people whom use our facilities. A minority of these individuals tend to be inexperienced/disorganized/messy/self-absorbed and it is these people whom
 will possibly wreak havoc should you allow them to work with PDMS in your cleanroom. I recall slipping on a large glob of uncured PDMS that had been dropped on the floor of the cleanroom by one of these “challenging users" at another site.</div>
<div><br>
</div>
<div>Another concern may be the outgassing of silicone over time and its possible effects on other people’s work. I’m not an expert in this particular field but for instance, the use of silicone caulking was strictly forbidden during the construction of our
 cleanroom here. Hopefully Jack Paul of HDR Architecture will be able to share some insights in this regard (HDR designed our facility).</div>
<div><br>
</div>
<div>For what it’s worth we do not currently allow PDMS in the cleanroom at all. Should a well-justified argument for introducing it be made in the future, I would likely insist on only allowing cured PDMS in the cleanroom and only in well-defined, possibly
 isolated, areas. Uncured work would only be permitted in a satellite (non-cleanroom) lab.</div>
<div><br>
</div>
<div>Best regards,</div>
<div>Vito</div>
<div>
<div id="MAC_OUTLOOK_SIGNATURE">
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri" style="font-size: 14px; "><font face="Calibri,sans-serif">--</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri" style="font-size: 14px; "><font face="Calibri,sans-serif">Vito Logiudice  </font>P.<font face="Calibri,sans-serif">Eng.</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Director of Operations, Quantum NanoFab</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">University of Waterloo</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Lazaridis QNC 1207</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">200 University Avenue West</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Waterloo, ON           Canada N2L 3G1</font></font></font></div>
<div><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif" style="font-size: 14px; ">Tel.: (519) 888-4567  ext. 38703</font></font></font></div>
<div><span style="font-size: 14px; ">Email: <a href="mailto:vito.logiudice@uwaterloo.ca">vito.logiudice@uwaterloo.ca</a></span></div>
<div><span style="font-size: 14px; "><font class="Apple-style-span" color="#000000"><font class="Apple-style-span" face="Calibri"><font face="Calibri,sans-serif">Website: </font></font></font></span><a href="https://fab.qnc.uwaterloo.ca">https://fab.qnc.uwaterloo.ca</a></div>
<div><br>
</div>
</div>
</div>
</div>
<div><br>
</div>
<span id="OLK_SRC_BODY_SECTION">
<div style="font-family:Calibri; font-size:12pt; text-align:left; color:black; BORDER-BOTTOM: medium none; BORDER-LEFT: medium none; PADDING-BOTTOM: 0in; PADDING-LEFT: 0in; PADDING-RIGHT: 0in; BORDER-TOP: #b5c4df 1pt solid; BORDER-RIGHT: medium none; PADDING-TOP: 3pt">
<span style="font-weight:bold">From: </span><<a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu">labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a>> on behalf of Leif Johansen <<a href="mailto:lej@danchip.dtu.dk">lej@danchip.dtu.dk</a>><br>
<span style="font-weight:bold">Date: </span>Wednesday, November 25, 2015 at 3:58 AM<br>
<span style="font-weight:bold">To: </span>"<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>" <<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>><br>
<span style="font-weight:bold">Subject: </span>[labnetwork] How do you handle PDMS in a cleanroom environment?<br>
</div>
<div><br>
</div>
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<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US">Dear Lab Network, <o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US">I have a dilemma. Polydimethylsiloxane (PDMS) is a promising material for soft lithography, and a lot of our users have a strong wish to process this material in our lab – especially for making nanoimprint stamps . However,
 before being cured, PDMS is basically a silicone oil, and all our front end engineers (plasma chambers, lithography etc. ) are really scared about this substance ending up in their equipment. Our back end engineers (especially the wire bonding engineer) is
 also strongly opposed to the introduction of PDMS into the back end lab. <o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US">Are there any experience out there in the community on how to handle PDMS in a cleanroom environment?<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US">Best regards, <o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US">Leif<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US"><o:p> </o:p></span></p>
<table class="MsoNormalTable" border="0" cellspacing="0" cellpadding="0" width="400" style="width:300.0pt;border-collapse:collapse">
<tbody>
<tr>
<td width="400" colspan="2" valign="top" style="width:300.0pt;padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><b><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">Leif S. Johansen
</span></b><b><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></b></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td width="400" colspan="2" valign="top" style="width:300.0pt;padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: rgb(155, 155, 155);">Head of Operations</span><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: rgb(155, 155, 155);"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td width="400" colspan="2" valign="top" style="width:300.0pt;padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">DTU Danchip
</span><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td width="400" colspan="2" valign="top" style="width:300.0pt;border:none;border-bottom:solid #AEAEAE 1.0pt;padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal" style="mso-line-height-alt:0pt"><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"> 
</span><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td width="350" valign="top" style="width:262.5pt;padding:6.0pt 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><b><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">Technical University of Denmark</span></b><b><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></b></p>
</td>
<td width="50" rowspan="7" valign="top" style="width:37.5pt;padding:6.0pt 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal" align="right" style="text-align:right"><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><img width="36" height="53" id="Picture_x0020_1" src="cid:image001.gif@01D1275F.B9E739D0" alt="http://www.dtu.dk/images/DTU_email_logo_01.gif"></span><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td style="padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">Danchip
</span><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td style="padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">Ørsted</span><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">s Plads, Byg. 347
</span><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td style="padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">2800  Lyngby
</span><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td style="padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">Direct +45 45255713
</span><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;">Mobile +45 25348992</span><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td style="padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:8.0pt;font-family:"Arial","sans-serif";color:black;mso-fareast-language:EN-GB"><a href="mailto:lesjo@danchip.dtu.dk"><span style="color:blue">lesjo@danchip.dtu.dk</span></a></span><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
<tr>
<td style="padding:0cm 0cm 0cm 0cm">
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:8.0pt;font-family:"Arial","sans-serif";color:black;mso-fareast-language:EN-GB"><a href="http://www.danchip.dtu.dk/"><span style="color:blue">www.danchip.dtu.dk/</span></a></span><span style="font-size: 8pt; font-family: Arial, sans-serif; color: black;"><o:p></o:p></span></p>
</td>
</tr>
</tbody>
</table>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
</div>
</div>
</span>
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