<div dir="ltr"><div><div><div>Hi,<br><br></div>An old process I'm trying to reproduce calls for a 5min clean step in IPA at 100°C. I'm a bit nervous about it. I'm doing it at 50-60C in bain-marie but I'm wondering it will make a difference. It's a cleaning step prior to photoresist and other things.<br><br></div>What do you folks think?<br><br></div>Matthieu<br></div>