<div dir="ltr"><div>I'm having an issue with lithium niobate substrates sticking to the mask during alignment/exposure.  I'm using a Karl Suss MA6 contact aligner.  I am being very careful not to thermally shock the substrate  during cleaning and PR coating.  The wafer was at room temperature when the substrate bonded to the mask.  I think now that it may be contact pressure that causes the static bonding to the mask.  I'm just wondering if anyone else has run into this issue and may have found a solution.</div><div><br></div><div>Thanks,</div><div><br></div>-- <br><div class="gmail_signature">Mike Call <br>Research Engineer<br>UMaine LASST<br>207-581-3382</div>
</div>