<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">Dear Shiva,<br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">I sputtered both materials in grad school. but I wasn't using a clean sputtering system. There are no special safety considerations (the lithium in these compounds is stable and is not reactive with N2 or moisture as elemental lithium) but the contamination of other metals deposited in the same system is a valid concern. I would use a less clean system for that if you have one. <br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">Hope this helps,<br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">Nava<br><br></div></div><div class="gmail_extra"><br clear="all"><div><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Nava Ariel-Sternberg, Ph.D.</span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Director of CNI Facilities</span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Columbia University</span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">530 W120th Street, NY 10027<br>Room 1020/MC 8903<br>Office: 212-854-9927<br></span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Cell: 201-562-7600</span><br></div><div><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
<br><div class="gmail_quote">On Mon, Feb 15, 2016 at 10:50 AM, Shivakumar Bhaskaran <span dir="ltr"><<a href="mailto:sbhas@uchicago.edu" target="_blank">sbhas@uchicago.edu</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">





<div link="#0563C1" vlink="#954F72" lang="EN-US">
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Due to interest of fabricating battery device, we have users requesting for sputtering LiCoO2 and Li3PO4.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Have anyone used this materials in your sputtering system. Will this material have contamination issue with other processes (mostly metals). Do I need to follow any safety procedures before/after sputtering.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thanks<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">-Shiva<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Times New Roman",serif">Shivakumar Bhaskaran, Ph.D.<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Times New Roman",serif">Searle CleanRoom Manager<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Times New Roman",serif">The University of Chicago<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Times New Roman",serif">5735 S.Ellis, Room 032<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Times New Roman",serif">Chicago-60637<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Times New Roman",serif">Ph:<a href="tel:773-795-2297" value="+17737952297" target="_blank">773-795-2297</a><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Times New Roman",serif"><a href="https://searle-cleanroom.uchicago.edu/" target="_blank">https://searle-cleanroom.uchicago.edu/</a><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br></div>