
<html>

  <head>


    <meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=utf-8">

  </head>

  <body bgcolor="#FFFFFF" text="#000000">

    I am looking for information on how to fix an issue I have with our

    Perkin Elmer sputter tool. The system was working reasonably, but

    now when we run the system there is alot of arcing. It is not

    related to the target material or if we use a different target

    position. At 100 W there is no arcing and once we go above that,

    normally we use 700 W with this system for deposition of HfOx, we

    observe the arcing issue. This is not a continuous arc, but very

    sporadic events and has been leaving visible damage to the dark

    shields and the chamber walls. I have cleaned the dark shields,

    chamber wall, and sample stage with sandpaper and wipe all the

    surfaces with solvents, but that did not seem to have an affect on

    the arcing issue. <br>

    <br>

    This tool has also had a long issue with RF leakage effecting the

    mass flow controllers and RF tuning unit. Past lab users have tried

    to ground all the instruments that were effected but with minimal

    improvement.<br>

    <br>

    Any information or help would be greatly appreciated.<br>

    <br>

    Chito Kendrick<br>

    <br>

    <div class="moz-signature">-- <br>

      <a href="https://sites.google.com/site/chitokendrickphd/">Chito

        Kendrick Ph.D.</a><br>

      <br>

      Director of the Microfabrication Facility<br>

      Research Assistant Professor<br>

      Electrical and Computer Engineering<br>

      Michigan Technological University<br>

      Room 436 M&M Building<br>

      1400 Townsend Dr.<br>

      Houghton, Michigan 49931-1295<br>

      <br>

      814-308-4255<br>

    </div>

  </body>

</html>