
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1">

</head>

<body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space; color: rgb(0, 0, 0); font-size: 14px; font-family: Calibri, sans-serif;">

<div>To Engineers who maintain Pegasus – Rapier Systems with Esc</div>

<div><br>

</div>

<div>Where do  you set your 15 Torr leak up rate pass/fail limit for the Esc. Does anyone have success in achieving the factory spec of 50mt/min on a 150mm chuck for 15 torr @15degC ?</div>

<div>What is your max flow you like to see for 15 Torr?</div>

<div>Thanks in advance.</div>

<div><br>

</div>

<div>David LaFleur</div>

<div>Equipment Engineer</div>

<div>Harvard University</div>

</body>

</html>