<div dir="ltr">Hi Tzu-Min; there are a lot of repair houses.  Rebuilding a turbo pump takes special equipment and some skill so I don't recommend you trying it alone.  Here is my 3 favorite repair houses.<div>PTB Sales</div><div>Sertec</div><div>Provac</div><div>I recommend sending the turbo and controller to ensure the everything is attended to.</div><div>Chris</div><div><br></div><div><br></div><div><br></div><div><br></div></div><div class="gmail_extra"><br clear="all"><div><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Chris Malocsay</div><div>510-506-5894</div><div><div><br></div><div>Please Join us at the following upcoming events.</div><div><br></div></div><div><div><p style="margin:0px;font-stretch:normal;font-size:11px;line-height:13px;font-family:Arial,Verdana,Helvetica,sans-serif;color:rgb(82,82,82)"><br></p></div><div><b><font color="#000000">July 12 - 14th San Francisco California</font></b></div></div><div><a href="http://www.semiconwest.org/" target="_blank"><font color="#0000ff">SEMICON WEST</font></a><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
<br><div class="gmail_quote">On Tue, Jun 21, 2016 at 3:25 PM, Kevin Owen <span dir="ltr"><<a href="mailto:kjvowen@lnf.umich.edu" target="_blank">kjvowen@lnf.umich.edu</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div dir="ltr">Which turbotronik controller do you have? If it has the set of ~10 "load" LEDs, usually one will be flashing which indicates the failure mode (table is in the turbotronik manual). Either way, we have almost all of our pump work done by outside vendors. For turbos, I have had good results with <a href="http://www.trotecsolutions.com/" target="_blank">Trotec Solutions</a>, although there are plenty of other repair companies. I believe Leybold actually does repairs as well, although I've not gone through them. On the other side of things, I have had bad luck with A&J Vacuum. They offer <i>very</i> competitive pricing and lead times, but pretty much every pump we've had repaired or bought refurbished has died in like a year. May just be our luck, though.<div><br></div><div>-Kevin</div></div><div class="gmail_extra"><br><div class="gmail_quote">On Tue, Jun 21, 2016 at 2:09 PM, Tzu-Min Ou <span dir="ltr"><<a href="mailto:Tzumin.Ou@colorado.edu" target="_blank">Tzumin.Ou@colorado.edu</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div dir="ltr"><div>Good day,</div><div><br></div><div>Just wanted to thank Utah Nanofab's hospitality and all the participants' selfless sharing. The UGIM in U. of Utah was a wonderful experience for a first-time attendee.</div><div><br></div><div>Back to reality, the turbo pump (Leybold Turbovac 361 C with mechanical rotor suspension) on our RIE system was making a loud high-pitched sound, and the controller showed a "failure" status. This turbo pump has been on all the time for the past 2-3 years, except for few unexpected power outage. I am curious if anyone had this kind of turbo pump failure before? What would be the possible causes of the failure?</div><div><br></div><div>In addition to that, I am seeking some professional suggestions on how to fix it. Would you recommend to replace the bearing by the professionals, or can this be done by myself (only watched youtube video and it looked quite complicated)? I will deeply appreciate if anyone can share the names of reliable inexpensive repairers and/or the vendors of the repair kit.</div><div><br></div><div>Thank you,</div><div><br></div><div>Tzu-Min</div><span class="HOEnZb"><font color="#888888"><span><font color="#888888"><div><br>-- <br></div><div data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><font face="georgia,serif">Tzu-Min Ou, Ph.D.</font></div><div><font face="georgia,serif">Lab Manager</font></div><div><font face="georgia,serif">Colorado Nanofabrication Laboratory</font></div><div><font face="georgia,serif">Department of Electrical, Computer, and Energy Engineering</font></div><div><font face="georgia,serif">University of Colorado at Boulder</font></div></div></div></div></div></div></div>
</font></span></font></span></div><span class="HOEnZb"><font color="#888888">
<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></font></span></blockquote></div><span class="HOEnZb"><font color="#888888"><br><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div>Kevin Owen<div>Senior Engineer in Research</div><div>Operations Group, Lurie Nanofabrication Facility</div><div>University of Michigan</div><div><a href="tel:%28734%29%20545-4014" value="+17345454014" target="_blank">(734) 545-4014</a></div></div></div></div></div></div>
</font></span></div>
<br>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br></div>