<div dir="ltr"><div>Dear colleagues,</div><div><br></div><div><div>Our facility recently installed a Tystar wet/dry oxidation tube, which has so far only been used to oxidise virgin Si wafers.  Recently, one of our users has requested to do a 400–1000 nm wet oxidation at 1100 °C on DRIE (Bosch) etched Si wafers which still have DRIE passivation polymer on them, for the dual purpose of removing the polymer and growing an oxide.  </div><div><br></div><div>Given the tool's excellent performance so far, I am concerned with the possibility of contaminating the (atmospheric) tube as the polymer is burned off, adversely affecting subsequent processes.  My priority is to protect the integrity of the tool, but I also do not want to be needlessly restrictive if the presence of the polymer does not in fact pose any problem.  We are a multi-user facility, with academic and industrial users who primarily do MEMS and microfluidics work (i.e., no CMOS processing).</div><div><br></div><div>My initial thought would be to have this user remove the polymer first using a dry etch (O₂ plasma), only oxidising the wafers once it has been verified that the polymer is no longer present.</div><div><br></div><div>Any advice on this matter would be greatly appreciated.  Many thanks.</div><div><br></div><div>Cheers, </div><div> </div><div>  – Aaron Hryciw</div></div><div><br></div><br clear="all"><div><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><u style="font-size:x-small">  </u><span style="font-size:x-small">                                           </span><br></div><div><span style="font-size:12.8px"><font size="1"><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Aaron Hryciw, PhD, PEng</span></p><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Fabrication Group Manager</span><br></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">University of Alberta - nanoFAB</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">W1-060 ECERF Building</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">9107 - 116 Street</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Edmonton, Alberta</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Canada T6G 2V4 </span><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent"> </span><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">                </span><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Ph: 780-940-7938</span></p><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent"><a href="http://www.nanofab.ualberta.ca/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">www.nanofab.ualberta.ca</a></span><span style="font-family:arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">  </span></font></span><font color="#000000"><br></font><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
</div>