<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">Dear all, <br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">We have recently purchased a new Oxford Plasma Pro System100 Cobra RIE that we intend to use with Cl chemistry (III-V etc.). Oxford recommended heating the gas lines of BCl3. Does anyone have experience with it? We are low on $$$ right now. How necessary that is? What is the best way to do this? <br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">Any thought would be appreciated. <br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">Thanks!<br><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:tahoma,sans-serif">Nava<br><br></div><div><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Nava Ariel-Sternberg, Ph.D.</span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Director of CNI Facilities</span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Columbia University</span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">530 W120th Street, NY 10027<br>Room 1015/MC 8903<br>Office: 212-854-9927<br></span></div><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Cell: 201-562-7600</span><br></div><div><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
</div>