<div dir="ltr"><div>Dear colleagues, </div><div><br></div><div>We have recently received a request from one of our users to deposit lithium fluoride in our e-beam evaporation system, for OLED applications.  This is a non-loadlocked, cryopumped, multi-user system housed outside our cleanroom in our "10k area", typically used to deposit common metals and a few relatively innocuous dielectrics.  The large bell jar is periodically cleaned by one of our staff members using power tools (i.e., particle generation), while wearing a respirator.</div><div><br></div><div>After reviewing MSDSs (two are attached), we've got some concerns about the toxicity of this materials, including the possibility of HF formation (with the potential to be released during a cryopump regen?), as well as the general exposure of this material to staff (and users in the surrounding area) during cleaning.  Especially given the multi-user nature of this tool, I am hesitant to allow LiF in it.</div><div><br></div><div>I would welcome any advice you have regarding whether or not to allow deposition of this material, especially any other safety concerns and special control measures you may recommend. </div><div><br></div><div>We are also considering the possibility of depositing LiF using a <a href="http://luxel.com/products/thermal-evaporation-equipment/radak-and-oled-furnaces/">high-temperature thermal evaporation source</a> in our organics evaporator.  As a smaller, more dedicated OLED system, it may be possible to use a disposable foil liner, etc., to mitigate exposure to toxic materials and simplify their disposal.</div><div><br></div><div>Cheers, </div><div><br></div><div> – Aaron</div><div><br></div><div><br></div><br clear="all"><div><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><u style="font-size:x-small">  </u><span style="font-size:x-small">                                           </span><br></div><div><span style="font-size:12.8000001907349px"><font size="1"><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Aaron Hryciw, PhD, PEng</span></p><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Fabrication Group Manager</span><br></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">University of Alberta - nanoFAB</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">W1-060 ECERF Building</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">9107 - 116 Street</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Edmonton, Alberta</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Canada T6G 2V4 </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">        </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">                </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Ph: 780-940-7938</span></p><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent"><a href="http://www.nanofab.ualberta.ca/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">www.nanofab.ualberta.ca</a></span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">  </span></font></span><font color="#000000"><br></font><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
</div>