<div dir="ltr"><div><div><div>I have lots of requests from users to buy a DRIE. I am currently building an ALD from a surplus system someone brought so that explains how tight my time and budget is.<br><br></div>I am looking at funding options and also sending users to other facilities. However, we have a Trion Technology Phantom II that has the required gases and we can do a cyclic program for deposition and etch. It does not have great cooling right now. I am wanting to see if I can develop a recipe and was wanting to know if anyone already has one for this system? I have seen one on BYU's website and I will likely try that one first or use that as initial conditions.<br><br></div>Regards,<br><br></div>Chito Kendrick<br><div><div><div><div><br>-- <br><div class="gmail_signature"><div dir="ltr"><span><font color="#888888"><a href="https://sites.google.com/site/chitokendrickphd/" target="_blank">Chito
        Kendrick Ph.D.</a><br>
      <br>
      Director of the Microfabrication Facility<br>
      Research Assistant Professor<br>
      Electrical and Computer Engineering<br>
      Michigan Technological University<br>
      Room 436 M&M Building<br>
      1400 Townsend Dr.<br>
      Houghton, Michigan 49931-1295<br>
      <br>
      <a href="tel:814-308-4255" value="+18143084255" target="_blank">814-308-4255</a></font></span></div></div>
</div></div></div></div></div>