<div dir="ltr">Dear Colleagues, <div><br></div><div>We have recently installed a new ICP system that uses Cl2, BCl3 & HBr process gasses. We use a Deltech 859 CDO for exhaust abatement. For gas detection, we use Honeywell Midas detectors with Midas-E-HCL (HBr/BCl3) and Midas-E-HAL (Cl2) detector cartridges. </div><div><br></div><div>We are seeing readings of 8ppm and 2ppm from the BCl3/HBr and Cl2 detectors (respectively) in the scrubbed exhaust output of our abatement system when running a 42 sccm Cl2 plasma. </div><div><br></div><div>Is anyone able to provide any guidance or input on what we should expect in terms of performance from this type of setup? Is it normal to read gas levels in the scrubbed exhaust? It seems to me that this should not be the case if the abatement is working properly (but at what efficiency?) The CDO uses both a high temp burn chamber and water re-circulator. </div><div><br></div><div>This is our first tool to use these gasses and we are still experiencing some learning curves when it comes to understanding the expectations for the system performance - so any feedback is much appreciated.</div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>-Mike.<br clear="all"><div><br></div>-- <br><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><p dir="ltr" style="font-size:x-small;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Michael Hume</span></p><p style="font-size:x-small;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Operations Manager</span></p><p style="font-size:x-small;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">University of Alberta - nanoFAB</span><br></p><p dir="ltr" style="font-size:x-small;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">W1-060 ECERF Building</span></p><p dir="ltr" style="font-size:x-small;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">9107 - 116 Street</span></p><p dir="ltr" style="font-size:x-small;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Edmonton, Alberta</span></p><p dir="ltr" style="font-size:x-small;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Canada T6G 2V4 </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">      </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">                </span></p><span style="font-size:x-small;font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent"><a href="http://www.nanofab.ualberta.ca/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">www.nanofab.ualberta.ca</a></span><span style="font-size:x-small;font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">      </span><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;font-size:x-small;line-height:13.8000001907349px;white-space:pre-wrap">Ph: 587-879-1519</span><br></div></div></div></div></div></div></div>
</div></div>