<html>
  <head>
    <meta content="text/html; charset=windows-1252"
      http-equiv="Content-Type">
  </head>
  <body bgcolor="#FFFFFF" text="#000000">
    Hi Michael,<br>
    <br>
    Please see below for a summary of hat I have:<br>
    -I run all hazardous gases (3 or more on the fire diamond) in
    coaxial lines; both the inner and outer tube are 316L SS. <br>
    -The coaxial lines do not use any preformed directional changes;
    both the inner and outer tubes are welded; the bend radius is 10
    diameters.<br>
    -The coaxial space is either under vacuum or pressure (on the lines
    I warm up) and the vacuum/pressure is monitored; any change leads to
    valve closure and notifications.<br>
    -The only hazardous gas cylinder I have in the cleanroom is BCl3
    because I wanted it close to the etcher; I may put future low vapor
    pressure hazardous cylinders in the cleanroom. I warm up the line
    that runs from the gas cabinet to the etcher. I also warm up the
    cylinder and the manifold inside the gas cabinet.<br>
    -I do not have a pressure regulator in the BCl3 cabinet.<br>
    -All my gas cabinets are single-panel, dual output; I am using only
    one output for now.<br>
    -I use 4-stick VMBs (except for BCl3; the cabinet is connected
    directly to the etcher).<br>
    -I have a Gas Room that houses the corrosive gas cabinets and some
    "non-hazardous" cylinders outside of gas cabinets; the space is
    monitored for O2 concentration.<br>
    -I have a Bunker that houses the flammable and pyrophoric gases in
    cabinets; any future GeH4, PH3, B2H6 will go in there; the space is
    monitored for O2 concentration.<br>
    -The exhaust from the gas cabinets and VMBs is sampled for hazardous
    gases.<br>
    -The flammable gas cabinets and VMBs have UV/IR sensors that get
    power from and report to the Fire Alarm System (FAS). The FAS is
    connected to the TGMS and the TGMS can close valves in the gas
    cabinets, VMBs, and tools.<br>
    -All gas cabinets and VMBs are sprinklered.<br>
    -My C4F8 panel has two outputs; one is currently used and one is for
    the future. They tee off downstream of the pressure regulator.<br>
    <br>
    I hope this helps and I wish you the best of luck,<br>
    <br>
    Iulian<br>
    <br>
    <pre class="moz-signature" cols="72">iulian Codreanu, Ph.D.
Director of Operations, UD NanoFab
163 ISE Lab
221 Academy Street
Newark, DE 19716
302-831-2784
<a class="moz-txt-link-freetext" href="http://udnf.udel.edu">http://udnf.udel.edu</a></pre>
    <div class="moz-cite-prefix">On 12/6/2016 10:17 AM, Michael Khbeis
      wrote:<br>
    </div>
    <blockquote cite="mid:9AF8CF08-9768-43F7-ADE5-FC90B73E2207@uw.edu"
      type="cite">
      <meta http-equiv="content-type" content="text/html;
        charset=windows-1252">
      <div>Dear Colleagues,</div>
      <div><br>
      </div>
      <div>Once again, I am pitted against my capital projects group.
        This time regarding HPM gas infrastructure. Thanks to your prior
        input, we were able to obtain a proper toxic gas monitoring
        system. However, now I am in a code interpretation debate with
        their process piping consultants on the use of VMBs for
        multi-tool feeds and coaxial lines. They don't want either in
        our project. They specified hastelloy for Chlorine and BCl3 but
        single walled 316ss (after much debate that 304 was not
        sufficient) for all our other gasses. In ALL my prior sites we
        always used coaxial lines as a secondary containment for HPMs,
        but currently this project has no coax specified. </div>
      <div><br>
      </div>
      <div>I am also in debate on whether or not 100% hydrogen (large
        330cf cylinders) can be in the Cleanroom without a cabinet vs a
        bunker in a cabinet. Their interpretation is that an H-5
        facility can store 9000cf; however, I believe they are ignoring
        the vented enclosure requirements. </div>
      <div><br>
      </div>
      <div>We will have the following HPM gasses:</div>
      <div>100% Silane</div>
      <div>100% Hydrogen</div>
      <div>Ammonia</div>
      <div>Chlorine</div>
      <div>Boron Trichloride</div>
      <div>Phosphine</div>
      <div>Diborane</div>
      <div><br>
      </div>
      <div>Can you please weigh in on your sites use of:</div>
      <div><br>
      </div>
      <div>1) coaxial lines, which gasses and if any HPMs are excluded
        or use single hastelloy </div>
      <div><br>
      </div>
      <div>2) use of valve manifold boxes / vented enclosures for
        distributing HPMs to multiple tools (or anywhere else there's a
        mechanical connection)</div>
      <div><br>
      </div>
      <div>3) location and enclosure or not for 100% hydrogen</div>
      <div><br>
      </div>
      <div>And on a non-safety related note, we asked for panels with
        multi-stick feeds to each tool; however, the process piping
        designer just teed all of our lines from a single point and put
        a regulator at each tool instead to "save money". I am very
        concerned about LP gasses (e.g C4F8) being starved when multiple
        tools are running. We distinctly had issues with past lab with
        shared C4F8 bottles. Their recommendation is to ONLY heat the
        cylinder to increase vapor pressure, but given my limited
        knowledge, I believe with high flow rate and lacking heating of
        the panel and lines we will have gas condensation issues. To
        date, my input is still being dismissed so please state:</div>
      <div><br>
      </div>
      <div>4) how you handle LP gas distribution to multiple tools </div>
      <div><br>
      </div>
      <div>I thank you so much for taking the time out of your busy
        schedules to provide this input. This community/forum has been
        such a blessing. </div>
      <div><br>
      </div>
      <div>Most gratefully,</div>
      <div><br>
        <div>
          <div><span style="background-color: rgba(255, 255, 255, 0);">Dr.
              Michael Khbeis</span>
            <div><span style="background-color: rgba(255, 255, 255, 0);">Washington
                Nanofab Facility<br>
                University of Washington<br>
                Fluke Hall, Box 352143<br>
                (O) <a moz-do-not-send="true" href="tel:206.543.5101"
                  x-apple-data-detectors="true"
                  x-apple-data-detectors-type="telephone"
                  x-apple-data-detectors-result="0/0">206.543.5101</a><br>
                (C) <a moz-do-not-send="true" href="tel:443.254.5192"
                  x-apple-data-detectors="true"
                  x-apple-data-detectors-type="telephone"
                  x-apple-data-detectors-result="0/1">443.254.5192</a><br>
                <a moz-do-not-send="true" href="mailto:khbeis@uw.edu"
                  x-apple-data-detectors="true"
                  x-apple-data-detectors-type="link"
                  x-apple-data-detectors-result="0/2">khbeis@uw.edu</a></span></div>
          </div>
        </div>
      </div>
      <br>
      <fieldset class="mimeAttachmentHeader"></fieldset>
      <br>
      <pre wrap="">_______________________________________________
labnetwork mailing list
<a class="moz-txt-link-abbreviated" href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>
<a class="moz-txt-link-freetext" href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a>
</pre>
    </blockquote>
    <br>
  </body>
</html>