<div dir="ltr">Norman Gottron,<div><br></div><div>The UC Berkeley NanoLab and its predecessor, the Microlab have operated a model PDS10 labcoater 2 for more than a decade. It is a reliable tool and SCS has provided good advice and support. </div><div><br></div><div>As noted, the parylene films it creates needs periodic cleaning from the internals of the coat chamber. These residues might cause issues in a cleanroom; however, from experience they tend to peel off in fairly large, cohesive layers and not as fine particle. </div><div><br></div><div>To better manage our tool we have made a few modifications:</div><div><br></div><div>1) we do not vent to air; we vent to dry nitrogen. Regrettably, too many researchers vented the tool to air while the cold-finger (coldtrap) was still chilled and failed to lift it out of its chamber which resulted in condensation. n warmup this would end up in the Edwards RV-8 wet pump trashing its oil.</div><div>2) we exchanged the RV-8 for a Kashiyama NeoDry 15C, a drypump of similar throughput, about few years ago which has performed well and required less maintenance than the wet pump.</div><div>3) we keep spare Convectron gauges and periodically check to make sure the 1/8" NPT port for this gauge does not get clogged with parylene.</div><div>4) using the resources of our machine chop we built a jig that holds the coldtrap horizontal. It has a rod-guided movable scrapper which facilitates cleaning films from the cold finger.</div><div><br></div><div>I also am guessing because we use a dry pump we could eliminate LN and replace the cold finger by stuffing some large surface area material, such as a stainless dutch-weave as found in many foreline traps and toss it when it get loaded. A similar recommendation is to test  Chore-Boy copper scrubbers as a cheap, large surface area disposable trap material to protect the dry pump from parylene vapor. As of now we have not done a test to see the efficacy of such a process change. It would be easy to place a substrate at the bottom of the trap and measure how much, if any, parylene broke through the trap.</div><div><br></div><div> <img src="cid:ii_1598a43306cef7bd" alt="Inline image 1" width="450" height="430" style="margin-right: 0px;"></div><div><br></div><div>Regards,</div><div>Bob Hamilton</div></div><div class="gmail_extra"><br clear="all"><div><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div><div><div><div><div><br>Robert Hamilton<br></div>University of CA, Berkeley<br>Marvell NanoLab Equipment Manager<br></div>Rm 520 Sutardja Dai Hall, MC 1754<br></div>Berkeley, CA 94720<br></div>Phone 510-809-8618 (desk - preferred)<br></div>Mobile 510-325-7557 (my personal mobile)<br></div>E-mail preferred: <a href="mailto:bob@eecs.berkeley.edu" target="_blank">bob@eecs.berkeley.edu</a><br><a href="http://nanolab.berkeley.edu/" target="_blank">http://nanolab.berkeley.edu/</a></div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr"><br><div><div><div><div><div><div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
<br><div class="gmail_quote">On Tue, Jan 10, 2017 at 11:10 AM, Norman Gottron <span dir="ltr"><<a href="mailto:ngottron@andrew.cmu.edu" target="_blank">ngottron@andrew.cmu.edu</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div lang="EN-US" link="blue" vlink="purple"><div class="m_-6433938743443641834WordSection1"><p class="MsoNormal">Hello All,<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">We are looking to relocate our SCS parylene deposition (PDS 2010 Labcoter 2) system to our new cleanroom facility, and it seems wise to consider contamination control in placing this tool.  I know that the use of these tools is relatively widespread, and I am wondering how others handle the particles/parylene flakes that are released when the tool is cleaned and maintained.  We recently experienced an uptick in use on the tool and began running thicker deposition (on the scale of microns for each deposition), both of which have contributed to particle concerns in the area around the tool.  Most of the particle concerns are a result of cleaning the cold trap probe (indicating there may be a better way to do this), but we’ve had to recently tear into the system and unclog the vaporizer line, which also is a pretty dirty process.<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">In particular, can anyone comment on the following?<u></u><u></u></p><p class="m_-6433938743443641834MsoListParagraph"><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7.0pt "Times New Roman"">         </span></span></span><u></u>Is your system located in clean space?  If so, what is the class designation of its location?<u></u><u></u></p><p class="m_-6433938743443641834MsoListParagraph"><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7.0pt "Times New Roman"">         </span></span></span><u></u>How do you mitigate the risk of particle release during tool maintenance/cleaning?<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">Thanks!<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">Norman Gottron<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Process Engineer, Carnegie Mellon University Nanofabrication Facility<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Electrical and Computer Engineering | Carnegie Mellon University<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">5000 Forbes Ave<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Pittsburgh, PA 15213<u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Phone: <a href="tel:(412)%20268-4205" value="+14122684205" target="_blank">412-268-4205</a><u></u><u></u></p><p class="MsoNormal">Fax: <a href="tel:(412)%20268-3497" value="+14122683497" target="_blank">412-268-3497</a><u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><a href="http://www.ece.cmu.edu/" target="_blank">www.ece.cmu.edu</a><u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><span style="color:#1f497d"><a href="http://www.nanofab.ece.cmu.edu/" target="_blank">www.nanofab.ece.cmu.edu</a></span><u></u><u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p></div></div><br>______________________________<wbr>_________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/<wbr>mailman/listinfo.cgi/<wbr>labnetwork</a><br>
<br></blockquote></div><br></div>