<html xmlns:v="urn:schemas-microsoft-com:vml" xmlns:o="urn:schemas-microsoft-com:office:office" xmlns:w="urn:schemas-microsoft-com:office:word" xmlns:m="http://schemas.microsoft.com/office/2004/12/omml" xmlns="http://www.w3.org/TR/REC-html40">
<head>
<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8">
<meta name="Generator" content="Microsoft Word 15 (filtered medium)">
<style><!--
/* Font Definitions */
@font-face
        {font-family:"Cambria Math";
        panose-1:2 4 5 3 5 4 6 3 2 4;}
@font-face
        {font-family:Calibri;
        panose-1:2 15 5 2 2 2 4 3 2 4;}
/* Style Definitions */
p.MsoNormal, li.MsoNormal, div.MsoNormal
        {margin:0in;
        margin-bottom:.0001pt;
        font-size:12.0pt;
        font-family:"Times New Roman",serif;}
a:link, span.MsoHyperlink
        {mso-style-priority:99;
        color:blue;
        text-decoration:underline;}
a:visited, span.MsoHyperlinkFollowed
        {mso-style-priority:99;
        color:purple;
        text-decoration:underline;}
p
        {mso-style-priority:99;
        mso-margin-top-alt:auto;
        margin-right:0in;
        mso-margin-bottom-alt:auto;
        margin-left:0in;
        font-size:12.0pt;
        font-family:"Times New Roman",serif;}
span.EmailStyle18
        {mso-style-type:personal;
        font-family:"Calibri",sans-serif;
        color:#1F497D;}
span.EmailStyle19
        {mso-style-type:personal-compose;
        font-family:"Calibri",sans-serif;
        color:windowtext;}
.MsoChpDefault
        {mso-style-type:export-only;
        font-family:"Calibri",sans-serif;}
@page WordSection1
        {size:8.5in 11.0in;
        margin:1.0in 1.0in 1.0in 1.0in;}
div.WordSection1
        {page:WordSection1;}
--></style><!--[if gte mso 9]><xml>
<o:shapedefaults v:ext="edit" spidmax="1026" />
</xml><![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml>
<o:shapelayout v:ext="edit">
<o:idmap v:ext="edit" data="1" />
</o:shapelayout></xml><![endif]-->
</head>
<body lang="EN-US" link="blue" vlink="purple">
<div class="WordSection1">
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D">Hi All,<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D">At Draper we have two Excimer lasers that use the F2 premix gas and both machines have the premix in a gas cabinet. Yes it cost more upfront but better to be
 safe than sorry.<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D">Rick<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Richard H. Morrison<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Principal Member of the Technical Staff<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Draper<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">555 Technology Square<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Cambridge, MA<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">02139-3573<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Work  617-258-3420<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Cell  508-930-3461<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><a href="http://www.draper.com"><span style="color:#0563C1">www.draper.com</span></a><o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif">From:</span></b><span style="font-size:11.0pt;font-family:"Calibri",sans-serif"> labnetwork-bounces@mtl.mit.edu [mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu]
<b>On Behalf Of </b>Sandrine Martin<br>
<b>Sent:</b> Friday, March 03, 2017 2:29 PM<br>
<b>To:</b> labnetwork@mtl.mit.edu<br>
<b>Subject:</b> [labnetwork] Gas cabinet for F2 premix for excimer lasers?<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<div>
<p class="MsoNormal">Hello,<o:p></o:p></p>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">There are a few individual labs here at the University of Michigan that have excimer lasers and use F2 premix gases with 0.1 or 0.2% F2. So far, these gases have been installed in gas cabinets. We are now involved in a new installation
 and are getting some push back about the need for a gas cabinet. <o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">The argument is made using the Compressed Gas Assoc Pamphlet P-20 Standard for Classification of Toxic Gas Mixtures (2009) that apparently states that, if the LC50 value is over 5,000ppm, the gas mixture is not considered toxic. <o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">Pure F2 is listed with a LC50 (rat, 1h) at 185ppm. <o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">At 0.2% F2, the calculated LC50 is then 92,500ppm, well above the 5,000ppm threshold and the premix is no longer considered a toxic gas. (it also has an NFPA rating of  "1" in health on the MSDS)<o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">Since the mixture is not toxic and the F2 concentration is <1%, EH&S concludes that a gas cabinet is not required.<o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">However, considering that the F2 PEL is 0.1ppm and IDLH 25ppm, it still seems that a gas cabinet would be the safest option and the best solution.<o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">Has anybody gone through similar discussions? <o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">If you have a lab with a fluorine premix gas, is it in a gas cabinet? If not, what type of space is it in, and what kind of ventilation and gas detection are in place?<o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">Thanks<o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">Sandrine<o:p></o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">-- <o:p></o:p></p>
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<div>
<div>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">Sandrine Martin, Ph.D.<o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">University of Michigan <o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">LNF Managing Director<o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">1246D EECS, 1301 Beal Ave<o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">Ann Arbor, MI 48109<o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">Cell 734-277-2365<o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">Fax 734-647-1781<o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif"><a href="http://www.lnf.umich.edu/" target="_blank"><span style="color:#1155CC">www.LNF.umich.edu</span></a> <o:p></o:p></span></p>
<p style="margin:0in;margin-bottom:.0001pt;background:white"><span style="font-size:10.0pt;font-family:"Arial",sans-serif">@LurieNanofab<o:p></o:p></span></p>
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</body>
</html>