
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=us-ascii">

</head>

<body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space; color: rgb(0, 0, 0); font-size: 14px; font-family: Calibri, sans-serif;">

<div>Hi,</div>

<div><br>

</div>

<div>I have a user who is using the following Si etch recipe on our Oxford NGP80 etcher:</div>

<div><br>

</div>

<div>RF power: 100 W</div>

<div>Pressure: 100 mT</div>

<div>CF4 flow rate: 25 sccm</div>

<div>O2 flow rate: 3.1 sccm</div>

<div><br>

</div>

<div>The etch rate from the above parameters is ~ 0.15 microns/min.</div>

<div>The selectivity is 1:3.</div>

<div> Can anyone suggest what parameters to tweak to increase the etch rate without causing too much substrate damage or roughness?</div>

<div><br>

</div>

<div>Thanks for your suggestions.</div>

<div><br>

</div>

<div>Regards</div>

<div>Aju</div>

<div><br>

</div>

<div>

<div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; orphans: 2; widows: 2; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;">

<font class="Apple-style-span" color="#103ffb" face="Georgia" size="2">Aju Jugessur <i>Ph.D.</i><br>

Director, University of Iowa Microfabrication Facility<br>

</font></div>

<div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; orphans: 2; widows: 2; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;">

<font class="Apple-style-span" color="#103ffb" face="Georgia" size="2">Professor (Adj.), Physics and Astronomy<br>

OSTC, Iowa Advanced Technology Labs<br>

University of Iowa</font></div>

<div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; orphans: 2; widows: 2; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;">

<font class="Apple-style-span" color="#103ffb" face="Georgia" size="2"><br>

</font></div>

<div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; orphans: 2; widows: 2; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;">

<font class="Apple-style-span" color="#103ffb" face="Georgia" size="2">205 N. Madison St</font></div>

<div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; orphans: 2; widows: 2; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;">

<font class="Apple-style-span" color="#103ffb" face="Georgia" size="2">Iowa City, IA 52242<br>

319 -353-2342 <br>

aju-jugessur@uiowa.edu<br>

http://ostc.uiowa.edu/uimf</font></div>

</div>

<div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; orphans: 2; widows: 2; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;">

<font class="Apple-style-span" color="#103ffb" face="Georgia" size="2"><br>

</font></div>

<div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; orphans: 2; widows: 2; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;">

<font class="Apple-style-span" color="#103ffb" face="Georgia" size="2"><br>

</font></div>

</body>

</html>