
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1">

<style type="text/css" style="display:none;"><!-- P {margin-top:0;margin-bottom:0;} --></style>

</head>

<body dir="ltr">

<div id="divtagdefaultwrapper" style="font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols;" dir="ltr">

<p><span id="ms-rterangepaste-start"></span></p>

<div>Dear all,</div>

<div><br>

</div>

<div>I have a user who wants to use InGaN or GaN target in our Sputter system.</div>

<div>We do not have experience with these materials. </div>

<div>So I would like to ask your opinion if there is any issue including cross contamination.</div>

<div>Thank you.</div>

<div><br>

</div>

<div>Regards,</div>

<div>Chan Kim, PhD</div>

<div><span style="font-size: 12pt;">Associate development engineer</span></div>

<div>CNM2 (Center for Nano-Micro Manufacturing)</div>

<div>University of California Davis</div>

<div><br>

</div>

<span id="ms-rterangepaste-end"></span><br>

<p></p>

</div>

</body>

</html>