<div dir="ltr">Dear Colleagues,<div><br></div><div>One of our users has expressed an interest in annealing sol gel PZT around 700C in an Allwin21 AW610 RTA tool.  Has anyone had experience with this process who could comment on setting up scavenging or abatement of Pb-containing volatile components from the process gas exhaust, or could recommend measures to avoid Pb contamination of the tool?  Any advice or suggestions would be most appreciated.</div><div><br></div><div>Many thanks</div><div>Fred</div><div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica;font-size:12px">Fred Newman</div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica;font-size:12px">Research Engineer</div><div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica;font-size:12px;word-wrap:break-word">Washington Nanofabrication Facility (WNF)<br>University of Washington</div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica;font-size:12px;word-wrap:break-word">Fluke Hall 115, Box 352143</div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica;font-size:12px;word-wrap:break-word">office 206-616-3534</div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica;font-size:12px;word-wrap:break-word">mobile 505-450-4447</div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica;font-size:12px;word-wrap:break-word"><a href="mailto:fnewman@uw.edu" target="_blank">fnewman@uw.edu</a></div><div style="word-wrap:break-word"><font color="#000000" face="Helvetica"><span style="font-size:12px"><a href="https://www.wnf.washington.edu/" target="_blank">https://www.wnf.washington.edu/</a></span></font><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
</div></div>