<div dir="ltr">Hello<br><div>We've been running uniformity thickness tests of SU8-2025 on 4 in prime Si wafers (measured with a mechanical profilometer), and have gotten results around 13% (Max-Min/(Max+min)). Far from Microchem's reported 5%). I wanted to reach out to the community as to:</div><div><div>1) What are some of the uniformity numbers that other users are getting? and</div><div>2) for those getting good uniformity, are there any process control tips that can be shared?</div><div><br></div><div><br></div><div>-- <br><div class="gmail-m_-2768700391886273260gmail_signature"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr">Nicholas Sam-Soon<br>Microfabrication Process Engineer<div>Calit2 Qualcomm Institute<br>UC San Diego<br></div><div><a href="http://nano3.calit2.net/" target="_blank">http://nano3.calit2.net/</a></div>Email: <a href="mailto:jsamsoon@ucsd.edu" target="_blank">jsamsoon@ucsd.edu</a></div><div><br></div></div></div></div>
</div></div></div>