<html>

  <head>

    <meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8">

  </head>

  <body text="#000000" bgcolor="#FFFFFF">

    <p>If you <b>e-beam</b> evaporate Au, you will get soft X-rays

      which can expose most any resist. Thermal evaporation should be

      safer - you'll only have to worry about thermal degradation in

      that case.</p>

    <p>--Mike<br>

    </p>

    <br>

    <div class="moz-cite-prefix">On 8/23/2017 8:28 AM, Marc Zuiddam -

      TNW wrote:<br>

    </div>

    <blockquote type="cite"

      cite="mid:6C521A5E02323C4CB73135692FB72A8548FB46F4@SRV362.tudelft.net">

      <pre wrap="">Dear people,

I always have the idea that sputting/evaporating a thin Au layer on my sample is exposing the e-beam resist on my sample.. Do you also experience that?

 Regards, Marc Zuiddam

</pre>

    </blockquote>

    <br>

    <pre class="moz-signature" cols="72">-- 

Michael P. Young                        (574) 631-3268 (office)

Nanofabrication Specialist              (574) 631-4393 (fax)

Department of Electrical Engineering    (765) 637-3784 (cell)

University of Notre Dame                 <a class="moz-txt-link-abbreviated" href="mailto:mike.young@nd.edu">mike.young@nd.edu</a>

B-38 Stinson-Remick Hall

Notre Dame, IN 46556-5637</pre>

  </body>

</html>