<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=us-ascii">

</head>

<body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;" class="">

Hi all,

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">I would like to thank you all for responding on this issue. We have obtained several excellent suggestions that we are working on.</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">Thanks</div>

<div class="">Regards</div>

<div class="">Aju</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class=""><br class="">

<div>

<blockquote type="cite" class="">

<div class="">On Aug 21, 2017, at 12:20 PM, Jugessur, Aju S <<a href="mailto:aju-jugessur@uiowa.edu" class="">aju-jugessur@uiowa.edu</a>> wrote:</div>

<br class="Apple-interchange-newline">

<div class="">

<div style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;" class="">

<div class=""><br class="">

<blockquote type="cite" class="">

<div class=""></div>

</blockquote>

</div>

<div class="">Hi,

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">I have a user who is having inconsistent results when exposing patterns (100-200 nm in size) on glass substrate.</div>

<div class="">He is using a 5 nm Al layer between the 100nm ZEP and glass substrate. He obtained good results but it does not seem reproducible all the times.</div>

<div class="">He is also ensuring that there is good contact between the sample clips and the metal layer. Another approach would be to place the metal on top of the resist.</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">He has also used the conducting polymer PDOT on ZEP but it does not seem to adhere too well. He could also be doing a step or steps consistently wrong and be unaware.</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">This is quite a common and established process but I would like to see if the members have any suggestions to ensure reproducible and consistent results for ebeam lithography on glass substrates.</div>

<div class="">I will provide more information/details once I receive some feedback.</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">Thanks,</div>

<div class="">Regards</div>

<div class="">Aju</div>

<div class=""><br class="">

</div>

</div>

<br class="">

<div class=""><i class=""><font color="#0096ff" class="">Aju Jugessur, Ph.D.<br class="">

Director, University of Iowa Microfabrication Facility (UIMF)<br class="">

Optical Science and Technology Center<br class="">

Professor Adjunct, Physics and Astronomy<br class="">

University of Iowa<br class="">

Office: IATL 202, Tel: 319-3532342<br class="">

Labs: IATL 170, 172, 174<br class="">

<a href="https://ostc.uiowa.edu/uimf" class="">https://ostc.uiowa.edu/uimf</a></font></i><br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

</div>

<br class="">

</div>

</div>

</blockquote>

</div>

<br class="">

<div class=""><i class=""><font color="#0096ff" class="">Aju Jugessur, Ph.D.<br class="">

Director, University of Iowa Microfabrication Facility (UIMF)<br class="">

Optical Science and Technology Center<br class="">

Professor Adjunct, Physics and Astronomy<br class="">

University of Iowa<br class="">

Office: IATL 202, Tel: 319-3532342<br class="">

Labs: IATL 170, 172, 174<br class="">

<a href="https://ostc.uiowa.edu/uimf" class="">https://ostc.uiowa.edu/uimf</a></font></i><br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

</div>

<br class="">

</div>

</body>

</html>