
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=us-ascii">

</head>

<body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;" class="">

<div class="">Hi all,</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">We have a user who is trying to dry etch (> 5-10 microns deep) into a glass material that has the following composition:</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">

<div class="">16 % PbO</div>

<div class="">46 % Bi2O3</div>

<div class="">30 % Ga2O3</div>

<div class="">8 % B2O3</div>

</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">I was wondering if anyone has some experience with something similar. We do have Oxford PlasmaPro instrument with BCl3, Cl2, Ar, O2 and CH4 connected right now.</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">Any suggestions will be greatly appreciated.</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">Thanks</div>

<div class="">Aju</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<br class="">

<div class=""><i class=""><font color="#0096ff" class="">Aju Jugessur, Ph.D.<br class="">

Director, University of Iowa Microfabrication Facility (UIMF)<br class="">

Optical Science and Technology Center<br class="">

Professor Adjunct, Physics and Astronomy<br class="">

University of Iowa<br class="">

Office: IATL 202, Tel: 319-3532342<br class="">

Labs: IATL 170, 172, 174<br class="">

<a href="https://ostc.uiowa.edu/uimf" class="">https://ostc.uiowa.edu/uimf</a></font></i><br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

<br class="">

</div>

<br class="">

</body>

</html>